[发明专利]电子线排线治具及其制作方法

权利要求书

1.一种电子线排线治具，其特征在于：包括一金属基板（1），所述金属基板表面上蚀刻有预定形状和大小的凹槽图案，所述凹槽图案包括若干条线状凹槽（2）。

2.根据权利要求1所述的电子线排线治具，其特征在于：所述凹槽的深度为0.1mm～0.35mmm。

3.根据权利要求1所述的电子线排线治具，其特征在于：所述凹槽的深度与所述金属基板的深度相同。

4.根据权利要求1所述的电子线排线治具，其特征在于：所述金属基板的材质为不锈钢和铜中的一种。

5.根据权利要求1所述的电子线排线治具，其特征在于：所述金属基板的厚度为0.8mm～1.0mm。

6.根据权利要求1所述的电子线排线治具，其特征在于：若干条所述凹槽为同轴线。

7.一种如权利要求1至6任一项所述的电子线排线治具的制作方法，其特征在于：包括如下步骤：

a、裁切形成一金属基板；

b、通过电脑软件，设计制作出需要蚀刻图形的菲林；

c、在金属基板的一侧表面上涂布一层感光油墨；烘烤后，用制作好的菲林曝光和显影，将金属基板上需要蚀刻图形处的感光油墨去掉，露出基材；

d、将步骤c形成的金属基板送进蚀刻机，用腐蚀性溶液进行腐蚀形成凹槽图案，经检查无误后，用退膜剂退除金属基板表面上剩余的感光油墨，用清水清洗烘干。