[发明专利]固体摄像装置的制造方法以及固体摄像装置

权利要求书

1.一种固体摄像装置的制造方法，包括以下步骤：

在第一导电型的半导体层上矩阵状地二维排列第二导电型的半导体区域，来形成多个光电转换元件，

通过以划分所述半导体层的方式形成俯视格子状的槽，来将所述光电转换元件整形为俯视矩形形状，

将被整形为俯视矩形形状的所述光电转换元件整形为角的数量比矩形多的俯视凸多边形形状，

在被绝缘膜覆盖了所述槽的内周面之后，在被该绝缘膜覆盖的槽中设置遮光部件，来形成元件分离区域。

2.根据权利要求1所述的固体摄像装置的制造方法，包括以下步骤：

利用使用了碱性药液的各向异性湿法刻蚀，将所述光电转换元件整形为所述俯视凸多边形形状。

3.根据权利要求2所述的固体摄像装置的制造方法，包括以下步骤：

通过形成所述槽，使所述光电转换元件中的密勒指数为[100]的面和与密勒指数[100]等效的面露出，

通过进行所述各向异性湿法刻蚀，使所述光电转换元件中的密勒指数为[110]的面和与密勒指数[110]等效的面露出。

4.根据权利要求1所述的固体摄像装置的制造方法，包括以下步骤：

利用各向同性干法刻蚀，将所述光电转换元件整形为所述俯视矩形形状。

5.根据权利要求1所述的固体摄像装置的制造方法，

所述俯视凸多边形形状是俯视八边形形状。

6.根据权利要求1所述的固体摄像装置的制造方法，

所述槽的底面是密勒指数为[111]的面。

7.一种固体摄像装置，具备：

第一导电型的半导体层；

多个光电转换元件，由在所述半导体层上矩阵状地二维排列的第二导电型的半导体区域形成，形成为角的数量比矩形多的俯视凸多边形形状；以及

元件分离区域，被设置成划分所述半导体层，并具有与所述光电转换元件之间的界面被绝缘膜覆盖的遮光部件。

8.根据权利要求7所述的固体摄像装置，

所述光电转换元件被形成为俯视八边形形状，对从所述光电转换元件的与设置有布线层的一侧相反的一侧的受光面入射的光进行光电转换。

9.根据权利要求7所述的固体摄像装置，

俯视凸多边形形状的所述光电转换元件具备密勒指数为[100]的侧面、与密勒指数[100]等效的侧面、密勒指数为[110]的侧面以及与密勒指数[110]等效的侧面。