[发明专利]焊球印刷机及焊球印刷方法

权利要求书

1.一种焊球印刷机，使用填充辊向形成于掩模的多个开口嵌入焊球，在形成于与所述掩模相对的基板的表面的多个电极部装载所述焊球，其特征在于，

该焊球印刷机具备：装载所述基板并在背面侧形成有多个孔部的基板载置桌台；将装载有该基板载置桌台的桌台能够在水平面内驱动的XYθ载置台以及能够上下移动驱动的第一上下移动驱动机构；掩模吸附部，其具有包含永磁铁的构件，该永磁铁能够嵌合到形成于所述基板装载桌台的背面的多个孔部的各自中；能够使该掩模吸附部上下移动驱动且配置在所述基板载置桌台的下部的第二上下移动驱动机构，所述第一上下移动驱动机构与所述第二上下移动驱动机构能够独立驱动。

2.根据权利要求1所述的焊球印刷机，其特征在于，

所述掩模吸附部具有的能够与所述基板载置桌台的多个孔部嵌合的构件，具有沿上下方向延伸的柱状的永磁铁与吸附于该柱状的永磁铁并沿上下方向延伸的磁性体的柱状构件一体化而成的多个柱状物、和吸附所述多个柱状物的平板。

3.根据权利要求1所述的焊球印刷机，其特征在于，

所述掩模吸附部具有的能够与所述基板载置桌台的多个孔部嵌合的构件，具有沿横向延伸的棒状的永磁铁、和配置在该永磁铁的背面侧且吸附于所述永磁铁的磁性体的棒，形成在所述基板载置板的多个孔部为大致平行的多个槽。

4.根据权利要求1所述的焊球印刷机，其特征在于，

所述掩模吸附部具有的能够与所述基板载置桌台的多个孔部嵌合的构件，具有位于基板侧的永磁铁、和位于基板相反侧的磁性体构件，被设置成仅通过基于所述永磁铁的磁力的吸附而保持所述磁铁和所述磁性体构件的位置。

5.根据权利要求1所述的焊球印刷机，其特征在于，

对能够与基板印刷桌台的上下移动独立地驱动的所述掩模吸附部进行驱动的所述第二上下移动驱动机构，在所述掩模吸附部的最大上升位置，使所述掩模吸附部具有的所述能够嵌合的构件与形成于所述基板载置桌台的背面的所述孔部嵌合，在所述掩模吸附部的最大下降位置，设有防止所述能够嵌合的构件从所述基板载置桌台的所述孔部脱出的掩模吸附部下端止挡件。

6.一种焊球印刷方法，使用填充辊向形成于掩模的多个开口嵌入焊球，在形成于与所述掩模相对的基板的表面的多个电极部装载所述焊球，其特征在于，

使载置有所述基板的基板载置桌台使用驱动该基板载置桌台的第一上下移动驱动机构进行上升，并且使用XYθ载置台对所述基板与所述掩模进行定位，之后使用第二上下移动驱动机构，使嵌合到形成于所述基板载置桌台的背面侧的孔部中的、掩模吸附部具有的由永磁铁与磁性体一体化而成的构件在该孔部内上升，利用所述永磁铁来吸附所述掩模与所述基板。