[发明专利]电路布图检查装置

权利要求书

1.—种电路布图检查装置，其特征在于，包括：

供电部，于同一基板上形成检查电极和多个消弧电极，该检查电极以多个导电体布图呈列状排列的基板为检查对象，在上方对置而电容耦合于1个上述导电体布图，施加预定的交流的检查信号，该多个消弧电极在与上述排列的方向交叉的方向，于上述检查电极的两侧，以同一间距间隔开而连续设置；

检查信号供给部，将交流的检查信号供给到上述检查电极；

消孤信号供给部，同时供给相对于上述检查信号而以相同相位和相反相位而移相的多个消弧信号；

传感器部，在该传感器部中，形成有在与上述检查电极对置的导电体布图的上方对置配置并电容耦合，从而检测从上述供电部施加的上述检查信号的传感器电极；

移动部，一体地保持上述供电部和上述传感器部，以一定距离与上述导电体布图的上方间隔开，向与该导电体布图的排列方向交叉的方向移动以及

缺陷判断部，将下述第1判断和第2判断组合，或采用它们中的任意一者而进行不良判断，在该第1判断中，将通过上述传感器部而按照时间序列获得的检测信号与预定的判断基准值进行比较，从而判断缺陷的有无，在该第2判断中，在相对于按照上述时间序列而获得的检测信号，检测信号值的时间序列的变化于设定期间内超过预定的范围时，针对送出超过该范围的检测信号的导电体布图而进行不良判断，

通过下述方式供电上述检查信号：从上述移动部的移动中的上述供电部，依次对导电体布图同时施加上述检查信号和上述多个消弧信号，形成相对于上述检查信号的电场分布而通过上述消弧信号反向地形成的电场分布，切削上述检查信号的电场分布的底侧部分，将进行了尖锐化的合成电场分布的峰值部分置于检查对象的导电体布图上。

2.根据权利要求1所述的电路布图检查装置，其特征在于，

对于上述供电部的上述检查电极和上述多个消弧电极，以位于上述多个消弧电极的排列的中间而向两侧扩大的方式间隔均匀间隔的间距地设置至少2个的第1、第2消弧电极。

3.根据权利要求2所述的电路布图检查装置，其特征在于，

对与上述检查电极邻接的上述第1消弧电极施加电压值低于上述检查信号的相同相位的第1消弧信号，并且，

对与上述第1消弧电极邻接的上述第2消弧电极施加电压值低于上述检查信号且高于上述第1消弧信号的相反相位的第2消弧信号；

在形成上述检查信号的电场分布时，通过上述第l消孤信号和上述第2消弧信号，形成与上述检查信号的电场方向相反方向的电场方向的电场分布，切削上述检查信号的电场分布的底侧部分，形成进行了尖锐化的合成电场分布。

4.一种电路布图检查装置，其特征在于，由下述部分构成：

供电部，具有1个检查电极，以该检查电极为中心而在两侧配置多个的消弧电极

检查信号供给部，将交流的检查信号供给到上述检查电极，形成上述检查信号的第1电场分布；

消孤信号供给部，同时供给相对于上述检查信号而以相同相位和相反相位而移相的多个消弧信号；以及

传感器部，形成有以非接触方式检测从上述供电部施加的上述检查信号的传感器电极，

所述电路布图检查装置具有检查部，

所述检查部在施加上述检查信号的同时，

对与上述检查电极邻接的第1消弧电极施加与上述检查信号同相位的第l消弧信号，对与上述第1消弧电极邻接的上述第2消弧电极施加与上述检查信号反相位的第2消弧信号，形成其电场的朝向与上述第1电场分布相反的上述第1消弧信号和上述第2消弧信号合成的第2电场分布，

切削上述检查信号的上述第1电场分布的底侧部分，将已进行尖锐化的合成电场分布的检查信号以非接触的方式供电到与上述供电部相离的任意的检查对象的电路布图。