[发明专利]电路布图检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及能够以非接触的方式检查形成于基板上的导电体布图的缺陷的电路布图检查装置。

背景技术

近年，在显示器中，采用液晶的液晶显示器或采用等离子体的等离子体显示器成为主流。在这些显示器的制造步骤中，对成为形成于玻璃基板上的电路布线的导电体布图，进行有无断线和短路的缺陷检查。

作为导电体布图的检查方法，比如在JP特开2004-191381号公报中，将至少2个检查探头接近导体布图，在以非接触的方式与导电体布图进行电容耦合的状态下移动，并且从一个检查探头施加交流检查信号，通过另—检查探头检测在导体布图中传递的交流检查信号。通过检测信号的波形的变化，进行有无导电体布图的断线和短路的检查。

用于上述检查方法的装置采用以非接触的方式与导体布图进行电容耦合的检查电极。该检查电极与导电体布图对置，施加具有与正弦波相同的波形的交流的检查信号。在成为检查对象的显示器中，与以前相比较，为了实现高画质图像的显示，强烈地要求显示面板的像素的细微化，成为检查对象的导电体布图的细线化和窄间距(pitch)化正在发展。

在采用了过去的接触型的传感器端子的情况下，通过对前端进行尖锐化，可应对布图的细线化，但是在将交流信号设为检查信号的非接触传感器中，由于进行以空气为绝缘体的电容耦合、即电场的电位(电压)的施加，故供电电极所形成的电场分布的形状对检测信号造成影响。

在导电体布图的布图宽度变窄时，为了利用电容耦合而获得充分的检测信号，检查信号的电压的更大的变化成为必须的条件。通常，具有下述的倾向：在因电压变化模拟地变化的交流言号而产生的电场的分布特性中，峰值越高，整体上越上升，波形的底侧越宽，峰值周围的电位也越高。

在多个导电体布图被窄间距化，布图之间的距离与布图宽度一起变窄的情况下，如果电场分布从供电电极到达在邻接或接近于成为检查对象的导电体布图的非检查对象的导电体布图，则还对这些导电体布图供电检查信号。

即使进行检查信号的检测的传感器电极形成为与导电体布图相同的宽度，仍从不对置而位于倾斜方向的非检查对象的导电体布图向传感器电极输出信号。由此，包含在从检查对象的导电体布图检测到的信号中，对检查的梢度造成影响。于是，如果相对于被细线化的导电体布图，提高所获得的传感器信号值，增加施加于供电电极上的检查信号的信号值，则对检查精度的影响也变大。

发明内容

本发明提供一种电路布图检查装置，其中，通过以检查电极为中心而于两侧设置多个消弧电极的供电部，同时施力目对于交流的检查信号的相位而发生相移的消弧信号，切削检查信号的电场分布的底侧部分，形成进行了尖锐化的电场分布，作为检查信号而供电到检查对象的导电体布图。

本发明的实施方式的电路布图检查装置包括：供电部，在该供电部中，于同一基板上形成检查电极和多个消弧电极，该检查电极以多个导电体布图呈列状排列的基板为检查对象，在上方对置而电容耦合于1个上述导电体布图，施加预定的交流的检查信号，该多个消弧电极在与上述排列的方向交叉的方向，于上述检查电极的两侧，以同一间距间隔开而连续设置；检查信号供给部，将交流的检查信号供给到上述检查电极；消弧信号供给部，同时供给相对于上述检查信号而以相同相位和相反相位而移相的多个消弧信号；传感器部，形成有在上述检查电极对置的导电体布图的上方对置设置并电容耦合，从而检测从上述供电部施加的上述检查信号的传感器电极；移动部，—体地保持上述供电部和上述传感器部，以一定距离与上述导电体布图的上方间隔开，向与该导电体布图的排列方向交叉的方向移动；以及缺陷判断部，将下述第1判断和第2判断组合，或采用它们中的任意一者而进行不良判断，在该第1判断中，将通过上述传感器部而按照时间序列获得的检测信号与预定的判断基准值进行比较，从而判断缺陷的有无，在该第2判断中，在相对于按照上述时间序列而获得的检测信号，检测信号值的时间序列的变化于设定期间内超过预定的范围时，针对送出超过该范围的检测信号的导电体布图而进行不良判断，通过下述方式供电上述检查信号：从上述移动部的移动中的上述供电部，依次对导电体布图同时施加上述检查信号和上述多个消弧信号，形成相对于上述检查信号的电场分布而通过上述消弧信号反向地形成的电场分布，切削上述检查信号的电场分布的底侧部分，将进行了尖锐化的合成电场分布的峰值部分置于检查对象的导电体布图上。

附图说明

图1为表示本发明的实施方式的电路布图检查装置的构思结构的图；

图2为表示供电部和与供电部有关的结构的图；