[发明专利]一种通用型针座及其使用方法有效
| 申请号： | 201410059942.7 | 申请日： | 2014-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN103869111A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 邓娇娇;尹彬锋;沈蕾 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 通用型 及其 使用方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种通用性针座，其特征在于，包括探针、电阻、选择开关、源量测单元；
所述探针、所述选择开关和所述源量测单元之间串联连接形成回路；
所述选择开关控制所述电阻接入所述回路或将所述电阻短路。
2.如权利要求1所述的通用型针座，其特征在于，所述选择开关为双掷开关，所述双掷开关的一个接入点与所述电阻电连接，所述双掷开关的另一个接入点与一导线电连接。
3.如权利要求1所述的通用型针座，其特征在于，所述电阻的阻值范围为10欧至10000欧之间。
4.如权利要求1所述的通用型针座，其特征在于，包括测试机座，所述探针、所述源量测单元和所述选择开关均位于所述测试机座内。
5.如权利要求1所述的通用型针座，其特征在于，还包括与所述探针相连的介质。
6.一种通用型针座的使用方法，其特征在于，包括权利要求1至5中任意一项所述的通用型针座；
所述探针对待测样品实施介质击穿测试时，通过所述选择开关将所述电阻接入所述回路中，通过所述电阻抑制介质击穿瞬间所述探针电流变大；
所述探针对待测样品实施常规测试时，通过所述选择开关将所述电阻短路，实现正常测试。
7.如权利要求6所述的通用型针座的使用方法，其特征在于，所述电阻减少介质击穿瞬间产生的焦耳热。
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