[发明专利]一种通用型针座及其使用方法

说明书

技术领域

本发明涉及微电子中版图布局的技术领域，尤其涉及一种环形连贯和桥连布局结构及其工艺流程导线短路和短路验证方法。 

背景技术

图1是现有的针座中测试样品未击穿时的示意图，图2是现有的针座中测试样品击穿时的示意图，请参见图1和图2所示。包括源量测单元1和探针2，源量测单元1与探针2相互串联连接。在晶圆级可靠性测试中，需要测量介质的击穿电压，在介质被击穿的一瞬间，通过探针2的电流急剧变大，产生大量焦耳热，导致探针因温度过高而烧针。介质未击穿时，类似电容，电阻无穷大，此时通过探针2的电流很小，在微安级别以下（10^-6安培）。击穿后介质电阻变小，在10欧姆左右。假设施加的电压为1V，则击穿瞬间通过的电流为0.1A，击穿瞬间电流变化了10万倍，而焦耳热等于电流平方，电阻，时间的乘积，产生的焦耳热增加了10¹⁰倍，导致探针2因温度过高而烧针。 

专利号201210497627.3的中国专利防止半自动探针台探针烧针的装置，包括源测量单元和探针，所述源测量单元和探针相互之间形成回路，还包括设于所述源测量单元和探针之间的电阻元件，所述电阻元件串联于所述源测量单元和探针的回路中。由于其电路中具有电 阻，当探针对待测样品实施常规测试时，其效率没有现有无电阻的针座效果好。 

专利号201220438244.4的中国专利探针台的热对流式降温附加装置，所述热对流式降温附加装置设置在所述探针台的连接器上方，包括一外转子轴流风机及一导风罩，所述导风罩连接在所述外转子轴流风机的下方，两者密封连接。在探针台腔体中形成一定高度的气流层水平运动，从而促进了整体空气循环，加速热对流的作用下，腔体内高温空气从探针台前后开口流出，起到了加速探针台降温的作用。但由于探针击穿测试样品，击穿瞬间产生大量的焦耳热，导致探针温度增加过快，降温附加装置无法及时进行降温处理。 

发明内容

鉴于上述问题，本发明提供一种通用型针座及其使用方法。 

本发明解决技术问题所采用的技术方案为： 

一种通用型针座，其中，包括探针、电阻、选择开关、源量测单元；所述探针、所述选择开关和所述源量测单元之间串联连接形成回路；所述选择开关控制所述电阻接入所述回路或将所述电阻短路。 

上述的一种通用型针座，其中，所述选择开关为双掷开关，所述双掷开关的一个接入点与所述电阻电连接，所述双掷开关的另一个接入点与一导线电连接。 

上述的一种通用型针座，其中，所述电阻的阻值范围为10欧至10000欧之间。 

上述的一种通用型针座，其中，包括测试机座，所述探针、所述源量测单元和所述选择开关分别位于所述测试机座内。 

上述的一种通用型针座，其中，还包括与所述探针相连的介质。 

一种通用型针座的使用方法，其中，包括上述任意一项所述的通用型针座；所述探针对待测样品实施介质击穿测试时，通过所述选择开关将所述电阻接入所述回路中，通过所述电阻抑制介质击穿瞬间所述探针电流变大；所述探针对待测样品实施常规测试时，通过所述选择开关将所述电阻短路，实现正常测试。 

上述的一种通用型针座的使用方法，其中，所述电阻减少介质击穿瞬间产生的焦耳热。 

上述技术方案具有如下优点或有益效果： 

通过增加一个具有旋转接入电阻电路或导线电路的双掷选择开关，能够有效地减少介质击穿瞬间的电流，通过选择开关兼容电流会突然变大的介质击穿测试和常规测试。 

附图说明

参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。 

图1是现有的针座中测试样品未击穿时的示意图； 

图2是现有的针座中测试样品击穿时的示意图； 

图3是本发明的一种通用型针座中测试样品未击穿时的示意图； 

图4是本发明的一种通用型针座中测试样品击穿时的示意图。 

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，但不作为本发明的限定。