[发明专利]固体摄像装置以及固体摄像装置的制造方法

权利要求书

1.一种固体摄像装置，具备：

光电转换元件，与多个色光的各个对应地设置；

第一反射防止膜，设置于所述光电转换元件的受光面侧；

中间膜，设置于所述第一反射防止膜的受光面侧；以及

第二反射防止膜，设置于所述中间膜的受光面侧，

所述第一反射防止膜、所述中间膜以及所述第二反射防止膜中的至少一个针对受光的每个色光而膜厚不同。

2.如权利要求1所述的固体摄像装置，其中，

所述第一反射防止膜、所述中间膜以及所述第二反射防止膜中的至少一个形成为，在受光的色光的波长越长的区域膜厚越厚。

3.如权利要求1所述的固体摄像装置，其中，

所述光电转换元件至少与红色光、绿色光以及蓝色光的各个对应地设置，所述第一反射防止膜、所述中间膜以及所述第二反射防止膜中的至少一个形成为，受光红色光的区域厚于受光绿色光的区域，受光绿色光的区域厚于受光蓝色光的区域。

4.如权利要求1所述的固体摄像装置，其中，

所述第二反射防止膜是氮化硅膜。

5.如权利要求1所述的固体摄像装置，其中，

所述中间膜是氧化硅膜。

6.一种固体摄像装置，具备：

光电转换元件，与多个色光的各个对应地设置；

第一反射防止膜，设置于所述光电转换元件的受光面侧；

中间膜，设置于所述第一反射防止膜的受光面侧；以及

第二反射防止膜，设置于所述中间膜的受光面侧，

所述第二反射防止膜设置于除了受光所述多个色光中的预定的色光的区域之外的区域。

7.如权利要求6所述的固体摄像装置，其中，

所述第二反射防止膜设置于除了受光所述多个色光中的波长最短的色光的区域之外的区域。

8.如权利要求6所述的固体摄像装置，其中，

所述光电转换元件至少与红色光、绿色光以及蓝色光的各个对应地设置，所述第二反射防止膜设置于至少除了受光所述蓝色光的区域之外的区域。

9.如权利要求6所述的固体摄像装置，其中，

所述光电转换元件至少与红色光、绿色光以及蓝色光的各个对应地设置，所述第二反射防止膜设置于至少除了受光所述红色光的区域之外的区域。

10.如权利要求6所述的固体摄像装置，其中，

所述光电转换元件至少与红色光、绿色光以及蓝色光的各个对应地设置，所述第二反射防止膜设置于至少除了受光所述绿色光的区域之外的区域。

11.如权利要求6所述的固体摄像装置，其中，

所述第二反射防止膜是氮化硅膜。

12.如权利要求6所述的固体摄像装置，其中，

所述中间膜是氧化硅膜。

13.一种固体摄像装置的制造方法，包括：

与多个色光的各个对应地形成光电转换元件，

在所述光电转换元件的受光面侧形成第一反射防止膜，

在所述第一反射防止膜的受光面侧形成中间膜，

在所述中间膜的受光面侧形成第二反射防止膜，

将所述第一反射防止膜、所述中间膜以及所述第二反射防止膜中的至少一个形成为针对受光的每个色光而膜厚不同。

14.如权利要求13所述的固体摄像装置的制造方法，包括：

将所述第一反射防止膜、所述中间膜以及所述第二反射防止膜中的至少一个形成为，在受光的色光的波长越长的区域膜厚越厚。

15.如权利要求13所述的固体摄像装置的制造方法，包括：

将所述光电转换元件至少与红色光、绿色光以及蓝色光的各个对应地形成，将所述第一反射防止膜、所述中间膜以及所述第二反射防止膜中的至少一个形成为，受光绿色光的区域比受光红色光的区域薄，且受光蓝色光的区域比受光绿色光的区域薄。

16.如权利要求13所述的固体摄像装置的制造方法，包括：

利用氮化硅膜形成所述第二反射防止膜。

17.如权利要求13所述的固体摄像装置的制造方法，包括：

利用氧化硅膜形成所述中间膜。