[发明专利]低温泵

权利要求书

1.一种低温泵，其特征在于，具备：

低温板总成，具备在两表面上具有吸附区域的多个低温板；

放射屏蔽件，形成包围所述低温板总成的气体接收空间；及

放射罩，配设于低温泵吸气口，且具备：主板，配置于所述低温泵吸气口的与所述低温板总成对应的位置；及百叶窗部，配置于所述低温泵吸气口的与所述气体接收空间对应的位置。

2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

所述百叶窗部具备多个百叶窗板，该百叶窗板与所述横向交叉配设，以便在与所述低温泵吸气口的横向垂直的高度方向上具有第1高度，

所述主板在所述高度方向上具有小于所述第1高度的第2高度。

3.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，

所述低温板总成具备与所述主板对置的顶板，

所述主板覆盖所述顶板的投影面积的至少80%，且最多占所述低温泵吸气口的开口面积的1/3。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的低温泵，其特征在于，

所述主板为沿所述低温泵吸气口的横向延伸的平板。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的低温泵，其特征在于，

所述低温板总成与所述主板之间的距离在5cm以内。

6.一种低温泵，其特征在于，具备：

低温板总成，具备在两表面上具有吸附区域的多个低温板，及

放射罩，配设于低温泵吸气口，

所述低温板总成具备与所述放射罩对置的顶板，

所述放射罩具备主板，该主板覆盖所述顶板的投影面积的至少80%，且最多占所述低温泵吸气口的开口面积的1/3。

7.根据权利要求6所述的低温泵，其特征在于，

所述低温泵还具备放射屏蔽件，该放射屏蔽件形成包围所述低温板总成的气体接收空间，

所述主板的外侧区域以所述气体接收空间与所述低温泵的外部连接的方式开放。

8.根据权利要求6或7所述的低温泵，其特征在于，

所述主板为沿所述低温泵吸气口的横向延伸的平板。