[发明专利]低温泵

说明书

本申请主张基于2013年3月5日申请的日本专利申请第2013-043541号的优先权。该申请的所有内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种低温泵。

背景技术

以往的低温泵由第1冷却台冷却头和与其连接的第1冷却台屏蔽件及第1冷却台挡板、第2冷却台冷却头和与其连接的第2冷却台低温板、及安装于该第2冷却台低温板背面的吸附体构成。该低温泵使气体在通过He制冷机冷却的第1冷却台屏蔽件、第1冷却台挡板及第2冷却台低温板冷凝从而进行真空排气。

专利文献1：日本特开平10-213065号公报

发明内容

本发明的一实施方式的例示性目的之一在于提供一种适于氢气等非冷凝性气体的高速排气的低温泵。

根据本发明的一实施方式，提供一种低温泵，其具备：低温板总成，具备在两表面上具有吸附区域的多个低温板；放射屏蔽件，形成包围所述低温板总成的气体接收空间；及放射罩，配设于低温泵吸气口，该放射罩具备：主板，配置于所述低温泵吸气口的与所述低温板总成对应的位置；及百叶窗部，配置于所述低温泵吸气口的与所述气体接收空间对应的位置。

根据本发明的一实施方式，提供一种低温泵，其特征在于，具备：低温板总成，具备在两表面上具有吸附区域的多个低温板，及放射罩，配设于低温泵吸气口，所述低温板总成具备与所述放射罩对置的顶板，所述放射罩具备主板，该主板覆盖所述顶板的投影面积的至少80%，且最多占所述低温泵吸气口的开口面积的1/3。

另外，将本发明构成要件或表现在方法、装置、系统等之间进行相互替换，也作为本发明的方式而有效。

根据本发明，能够提供一种适合于氢气等非冷凝性气体的高速排气的低温泵。

附图说明

图1是示意表示本发明的一实施方式所涉及的低温泵的主要部分的剖视图。

图2是示意表示本发明的另一实施方式所涉及的低温泵的主要部分的剖视图。

图中：10-低温泵，12-吸气口，20-低温板总成，30-放射屏蔽件，32-放射罩，44-低温吸附板，48-吸附区域，50-气体接收空间，52-主板，54-百叶窗部，56-开放区域，58-百叶窗板。

具体实施方式

图1是示意表示本发明的一实施方式所涉及的低温泵10的主要部分的剖视图。低温泵10安装于例如离子注入装置或溅射装置等真空腔室中，用于将真空腔室内部的真空度提高至工艺中所希望的级别。低温泵10具有用于接收气体的吸气口12。应被排出的气体从安装有低温泵10的真空腔室通过吸气口12进入到低温泵10的内部空间14。图1表示包含低温泵10的内部空间14的中心轴A的截面。

另外，以下为了更容易理解低温泵10的构成要件的位置关系，有时使用“轴向”、“放射方向”等术语。轴向表示贯穿吸气口12的方向（图1中为沿单点划线A的方向），放射方向表示沿吸气口12的方向（垂直于单点划线A的方向）。为方便起见，有时将轴向上相对靠近吸气口12称作“上”，相对远离则称作“下”。即，有时将离低温泵10的底部相对较远称作“上”，相对较近称作“下”。在放射方向上，有时将靠近吸气口12的中心（图1中为中心轴A）称作“内”，靠近吸气口12的边缘则称作“外”。放射方向也可叫作径向。另外，这种表达方法与低温泵10安装于真空腔室时的配置无关。例如，低温泵10可将吸气口12朝向铅垂方向下方而安装于真空腔室。

低温泵10具备制冷机16。制冷机16例如为吉福德-麦克马洪式制冷机（所谓的GM制冷机）等超低温制冷机。制冷机16为具备第1冷却台22及第2冷却台24的二级式制冷机。制冷机16构成为将第1冷却台22冷却至第1温度级别，并将第2冷却台24冷却至第2温度级别。第2温度级别的温度低于第1温度级别。例如，第1冷却台22冷却至65K～120K左右，优选冷却至80K～100K左右，第2冷却台24冷却至10K～20K左右。

图1所示的低温泵10为所谓卧式低温泵。卧式低温泵一般是指制冷机16配设成与低温泵10的内部空间14的中心轴A交叉的（通常为正交）低温泵。本发明也可适用于所谓的立式低温泵中。立式低温泵是指制冷机沿低温泵的轴向配设的低温泵。

低温泵10具备第1低温板18及低温板总成20。第1低温板18是为了保护低温板总成20免受来自低温泵10的外部或低温泵容器38的辐射热的影响而设置的低温板。第1低温板18具备放射屏蔽件30及放射罩32，且包围低温板总成20。第1低温板18与第1冷却台22热连接。由此，第1低温板18被冷却至第1温度级别。