[发明专利]一种微波炉磁控管用无辐射多元复合钨阴极材料及其制备工艺有效
申请号: | 201410073749.9 | 申请日: | 2014-03-01 |
公开(公告)号: | CN103849804A | 公开(公告)日: | 2014-06-11 |
发明(设计)人: | 顾进跃;徐玄;顾伟华;袁克艳 | 申请(专利权)人: | 深圳市威勒达科技开发有限公司 |
主分类号: | C22C27/04 | 分类号: | C22C27/04;B22F3/00;H01J23/04 |
代理公司: | 广东前海律师事务所 44323 | 代理人: | 李良 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 微波炉 管用 辐射 多元 复合 阴极 材料 及其 制备 工艺 | ||
1.一种微波炉磁控管用无辐射多元复合钨阴极材料,其特征在于:含有氧化镧、氧化锆、氧化钇、氧化镥、铼以及钨,其中每种稀土氧化物占该钨阴极材料质量百分比为0.5%~1.5%,稀土氧化物总量占该钨阴极材料质量百分比为2%~3%,合金元素铼占占该钨阴极材料质量百分比为1%~4%,其余为钨。
2.一种微波炉磁控管用无辐射多元复合钨阴极材料的制备工艺,其特征是:包括以下步骤:
步骤1:以在钨阴极材料中所占质量百分比计,按氧化镧、氧化锆、氧化钇和氧化镥每种稀土氧化物含量为0.5%~1.5%,四种稀土氧化物总量为2%~3%,铼为1%~4%,换算成对应的硝酸镧、硝酸锆、硝酸钇、硝酸镥和铼酸铵的量,然后称取这些化合物配置成混合溶液;
步骤2:以在钨电极材料中所占质量百分比计,按钨为93%~97%,将对应质量的三氧化钨粉末、蓝钨粉末、钨粉、仲钨酸铵粉末或者钨铼混合粉末加入上述混合溶液中,搅拌均匀,加热干燥获得混合粉末;
步骤3:首先将上述混合粉末在还原炉中通氢气还原,温度在400℃~700℃,时间为45min ~75min,然后将所得的粉末在还原炉中继续通氢气还原,温度在700℃~1000℃,时间为45 min ~75min;将两次还原后所得混合粉进行酸洗涤;
步骤4:称量500g~2500g填入软膜包套,包套放入冷等静压机压制成圆柱形坯条,压制压力设定在1000 Kg/㎝2~3000 Kg/㎝2;
步骤5:将压制好的坯条在氢气保护下进行预烧结,烧结温度为1100℃~1300℃,装舟量5根/舟~10根/舟,时间30 min ~60min;
步骤6:将预烧好的坯条置于氢气保护的垂熔烧结设备中,在90%的熔断电流下保温20min,降温冷却;
步骤7:对垂熔烧结后的坯条进行B203旋锻开坯,开坯温度1500℃~1650℃,之后经中频感应退火,再经过压力加工制得直径0.4mm~0. 6mm的钨丝,并用线盘卷绕;
步骤8:将最后用线盘卷绕的钨丝进行加热增加反拉力的机械矫直;
其中步骤3中所述酸洗涤是指将所获得的钨复合粉末先后用盐酸、氢氟酸洗涤,具体步骤如下:
先加去离子纯净水至衬耐酸胶的酸洗锅中,同时加入质量含量为3~5%盐酸,开启搅拌,装入钨复合粉末进行洗涤,洗涤完毕后沉淀2 h ~3h;
之后排除废液,之后再加入质量含量为3%~5%氢氟酸进行洗涤,洗涤完毕后沉淀2 h ~3h;
之后排除废液,再用去离子纯净水洗涤;再排除废液;
上述用去离子纯净水洗涤至少进行一次,直至最后用原子吸收测水中钾;用广泛试纸测水洗液的PH值;用光谱法测定洗涤后钨复合粉末中的金属杂质含量,符合下列技术要求后,过滤后进行干燥:
K<15ppm, pH>4.5, Fe<20ppm, Mn<5ppm, Na/Ni/Ca/Co/Cr<10ppm,
其中步骤8中所述机械矫直是选用五块孔型尺寸相同的矫直模,其位置分别固定在矫直机主轴的模架上,当钨丝从模孔通过时,主轴以2800r/min速度旋转,使杆料表面受到模具限制,因附加微小变形,而产生符号相反的附加应力,使原有的残余应力得到抵消,从而使杆料变直,矫直杆料的外形尺寸和性能不变。
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