[发明专利]有机层沉积设备和用其制造有机发光显示设备的方法

说明书

相关领域的交叉引用

本申请要求于2013年5月16日提交至韩国知识产权局的第10-2013-0056039号韩国专利申请的优先权和权益，该专利申请的公开通过引用整体并入本文。

技术领域

本发明的多个方面主要涉及有机发光显示器。更具体地，本发明的多个方面涉及有机层沉积设备和使用该有机层沉积设备制造有机发光显示设备的方法。

背景技术

与许多其他显示设备相比，有机发光显示设备具有更宽的视角、更好的对比度特性、以及更快的响应速度，因此作为下一代显示设备而倍受关注。

有机发光显示设备包括设置在第一电极和第二电极之间的中间层（包括发光层）。这些电极和中间层可以使用各种方法形成，其中之一是独立沉积方法。当使用这种沉积方法制造有机发光显示设备时，具有与待形成的有机层的图案相同的图案的精细金属掩模（FMM）被设置为紧贴在上面形成有机层等的衬底，并且有机层材料被沉积在FMM上以形成具有期望图案的有机层。

然而，使用这种FMM的沉积方法在制造使用较大母玻璃的较大有机发光显示设备时存在困难。例如，当使用这种大掩模时，该掩模可能在其自身重量下弯曲，从而使所产生的图案扭曲。

此外，对准衬底和FMM以使它们彼此紧贴、在上面进行沉积、以及使FMM从衬底分离的过程是耗时的，从而导致较长的制造时间和较低的生产效率。

背景技术部分所公开的信息是本发明的发明人在实现本发明之前已知的或在实现本发明的过程中所获得的技术信息。因此，其可能包含现有技术中没有的信息。

发明内容

本发明的方面针对更易于制造且适用于在衬底上实现高清晰度图案时大量生产大型衬底的有机层沉积设备。使用这种设备制造有机发光显示装置的方法也是可以预期的。

根据本发明的实施方式，提供了一种有机层沉积设备，包括：输送系统，包括移动单元、第一输送单元以及第二输送单元，移动单元被配置为联接有衬底并与衬底一起移动，第一输送单元用于在衬底被联接至移动单元时使移动单元在第一方向上移动，第二输送单元用于在沉积完成之后在衬底与移动单元分离时使移动单元在与第一方向相反的第二方向上移动；以及沉积单元，包括至少一个有机层沉积组件，至少一个有机层沉积组件用于在衬底被联接至移动单元时在衬底上沉积有机层，其中至少一个有机层沉积组件中的每一个均包括：至少一个沉积源，用于排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在至少一个沉积源的一侧，其中沉积源喷嘴单元中形成有至少一个沉积源喷嘴；构图狭缝片，被设置为面对沉积源喷嘴单元并包括沿着预定方向延伸的多个构图狭缝；遮蔽构件，设置在衬底与至少一个沉积源之间并被配置为阻挡从至少一个沉积源蒸发的沉积材料；以及丝网构件，设置在遮蔽构件的一侧并被配置为防止沉积材料从遮蔽构件滴落，其中移动单元被配置为在第一输送单元与第二输送单元之间循环移动，以及其中，当联接至移动单元时，衬底在被第一输送单元转移的同时与有机层沉积组件间隔预定距离。

遮蔽构件能够可操作地移动以防止沉积材料沉积在衬底上。

遮蔽构件可被配置为在至少一个沉积源与构图狭缝片之间移动。

丝网构件可联接至遮蔽构件以与遮蔽构件一起移动。

遮蔽构件可设置在沉积源的一侧并被定位和成形为朝着衬底引导从至少一个沉积源蒸发的沉积材料。

遮蔽构件可被成形为至少部分地围绕沉积源。

丝网构件可联接至遮蔽构件并且丝网构件和遮蔽构件被定位为靠近沉积源的一侧。

至少一个有机层沉积组件中的每一个均可包括：多个沉积源；以及多个遮蔽构件，可移动地定位在多个沉积源中的相应沉积源与构图狭缝片之间。

多个遮蔽构件能够被定位为防止沉积材料沉积在衬底上。

遮蔽构件可被成形和定位为覆盖衬底的边界区域。

遮蔽构件可被配置为在覆盖衬底的边界区域时与衬底一起移动。

构图狭缝片的狭缝可被成形和定位以使从至少一个沉积源排放的沉积材料以预定图案沉积在衬底上。

构图狭缝片可在所述第一方向和与所述第一方向不同的第三方向中的至少一个上具有比衬底更小的尺寸。

第一输送单元和第二输送单元可被配置为经过沉积单元。

第一输送单元可被设置为平行于第二输送单元。