[发明专利]一种在线数据监控系统及监控方法

权利要求书

1.一种在线数据监控系统，适用于半导体芯片生产工艺中；其特征在于，包括：

迁移单元，连接外部的一存储设备，用于将所述存储设备中保存的半导体生产数据复制到所述在线数据监控系统中；

数据存储单元，连接所述迁移单元，用于保存所述迁移单元复制的所述半导体生产数据；

输入单元，供使用者输入预设的判断条件，以及所述判断条件的判断等级；

条件存储单元，连接所述输入单元，用于保存所述判断条件以及对应的所述判断等级；

处理单元，分别连接所述数据存储单元和所述条件存储单元，用于在所述条件存储单元中选择多个所述判断条件与所述半导体生产数据进行匹配，并得出相应的匹配结果数据，将所述匹配结果数据保存入所述数据存储单元中；

所述匹配结果数据中包括根据匹配结果和对应所述判断条件的所述判断等级被标记的所述半导体生产数据，以及被标记的所述半导体生产数据占所有所述半导体生产数据的比值；

结果调用单元，连接所述数据存储单元，用于向所述数据存储单元发送调用命令，以获取所述数据存储单元中保存的相应的所述匹配结果数据；

所述判断条件的判断等级被区分为合格等级和警告等级；

匹配于所述合格等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为合格；

不匹配于所述合格等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为不合格；

匹配于所述警告等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为无需警告；

不匹配于所述警告等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为需要警告。

2.如权利要求1所述的在线数据监控系统，其特征在于，所述迁移单元中包括：

数据选择模块，用于选择保存于所述存储设备的所述半导体生产数据中适于量测的量测点数据，并复制到所述数据存储单元中保存。

3.如权利要求1所述的在线数据监控系统，其特征在于，所述结果调用单元中预设有多个调用显示模板。

4.如权利要求3所述的在线数据监控系统，其特征在于，还包括：

用户显示单元，连接所述结果调用单元，用于向所述结果调用单元发送请求显示所述调用显示模板的请求指令，所述结果调用单元从所述数据存储单元中获取所述匹配结果数据并填充至请求显示的所述调用显示模板的框架内，将经过填充的所述调用显示模板发送至所述用户显示单元中显示。

5.一种在线数据监控方法，适用于半导体芯片生产工艺中；其特征在于，

步骤1，复制保存于外部的存储设备中的所述半导体生产数据并保存；

步骤2，获取使用者输入的预设的判断条件，以及对应所述判断条件的判断等级，并保存；

步骤3，选择多个所述判断条件对被复制并保存的所述半导体生产数据进行匹配，随后形成相应的匹配结果数据；

步骤4，保存所述匹配结果数据；

步骤5，调用所述匹配结果数据，以供使用者查看；

所述匹配结果数据中包括根据所述步骤3中的匹配结果和对应所述判断条件的所述判断等级被标记的所述半导体生产数据，以及被标记的所述半导体生产数据占所有所述半导体生产数据的比值；

所述判断条件的判断等级被区分为合格等级和警告等级；

匹配于所述合格等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为合格；

不匹配于所述合格等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为不合格；

匹配于所述警告等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为无需警告；

不匹配于所述警告等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为需要警告。

6.如权利要求5所述的在线数据监控方法，其特征在于，所述步骤1中，复制并保存的所述半导体生产数据为保存于外部的所述存储设备的所述半导体生产数据中适于量测的量测点数据。

7.如权利要求5所述的在线数据监控方法，其特征在于，

所述步骤5具体包括：

步骤51，预设多个调用显示模板；

步骤52，获取外部输入的请求显示一个预设的所述调用显示模板的请求指令；

步骤53，根据所述请求指令调用所述匹配结果数据并填充至相应的所述调用显示模板的框架中；

步骤54，输出经过填充的所述调用显示模板并显示，以供使用者查看。