[发明专利]一种在线数据监控系统及监控方法

说明书

本发明公开了一种在线数据监控系统及监控方法，属于半导体生产工艺监控技术领域；系统包括迁移单元，连接外部的存储设备；数据存储单元，连接迁移单元；输入单元；条件存储单元，连接输入单元；处理单元，分别连接数据存储单元和条件存储单元；结果调用单元；方法包括：复制保存于外部的存储设备中的半导体生产数据并保存；获取使用者输入的预设的判断条件，以及对应判断条件的判断等级；选择多个判断条件对保存于存储单元中的半导体生产数据进行匹配，随后形成相应的匹配结果数据；保存匹配结果数据；调用匹配结果数据，以供使用者查看。上述技术方案的有益效果是：排除可能影响半导体芯片生产过程的因素，提升产品良率，降低成本。

技术领域

本发明涉及半导体生产工艺监控技术领域，尤其涉及一种在线数据监控系统及监控方法。

背景技术

半导体芯片的生产工艺是一个非常复杂且品质管控要求严格的工艺流程，对于每一个步骤都需要实行有效的监控及量测，才能确保最终生产的半导体芯片具有较高的良率。对于半导体芯片的制造，根据产品的不同，通常会经历200-300道加工工序，例如蚀刻、研磨、薄膜以及显影等。每道加工工序所实现的功用不同，对半导体芯片所产生的生产效果也不同。除了加工工序之外，还有一些生产工序用于对芯片进行量测，以实现对产品质量的监控，最终提升产品的生产良率。

在半导体芯片的生产工艺中，任何异常情况都会影响到产品的质量，甚至造成产品的直接报废，因此对半导体芯片的生产过程需要进行全程监控，并在产品量测值发生异常时及时处理，以预防或纠正不良产品的产生。如果在量测时遗漏异常情况，或者对量测结果处理不当，都会影响最终产生的产品的质量。

在现有技术中，生产系统对于一些量测结果不合格的产品能够做到及时响应并及时处理，但对于一些虽然合格，但有不合格的隐患或趋势的产品(即达到“警告”级别的量测数据所对应的产品)无法进行有效地检测，从而采取及时的调整手段，而这些具有隐患的量测结果在生产工艺继续进行下去的情况下有可能会影响到产品的生产速度以及最终成品的生产质量，同时大幅增加产品的生产成本。

发明内容

根据现有技术中存在的问题，即无法量测出处于“警告”级别的量测数据，从而遗漏潜在的可能影响产品生产过程的因素；现提供一种在线数据监控系统及监控方法，具体包括：

一种在线数据监控系统，适用于半导体芯片生产工艺中；其中，包括：

迁移单元，连接外部的一存储设备，用于将所述存储设备中保存的半导体生产数据复制到所述在线数据监控系统中；

数据存储单元，连接所述迁移单元，用于保存所述迁移单元复制的所述半导体生产数据；

输入单元，供使用者输入预设的判断条件，以及所述判断条件的判断等级；

条件存储单元，连接所述输入单元，用于保存所述判断条件以及对应的所述判断等级；

处理单元，分别连接所述数据存储单元和所述条件存储单元，用于在所述条件存储单元中选择多个所述判断条件与所述半导体生产数据进行匹配，并得出相应的匹配结果数据，将所述匹配结果数据保存入所述数据存储单元中；

所述匹配结果数据中包括根据匹配结果和对应所述判断条件的所述判断等级被标记的所述半导体生产数据，以及被标记的所述半导体生产数据占所有所述半导体生产数据的比值；

结果调用单元，连接所述数据存储单元，用于向所述数据存储单元发送调用命令，以获取所述数据存储单元中保存的相应的所述匹配结果数据。

优选的，该在线数据监控系统，其中，所述判断条件的判断等级被区分为合格等级和警告等级；

匹配于所述合格等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为合格；

不匹配于所述合格等级的所述判断条件的所述半导体生产数据被标记为不合格；