[发明专利]干燥方法以及干燥装置

权利要求书

1.一种干燥方法，包括：涂敷工序，通过在一定方向上对基材涂敷涂敷液，而在所述基材的表面形成涂敷膜；和干燥工序，对所述涂敷膜进行干燥，其中，

所述干燥工序为在基材的面内产生点状的温度不均来进行干燥的工序。

2.根据权利要求1所述的干燥方法，其中，

所述干燥工序是使多个销与在所述基材上涂敷涂敷液的面的相反面接触来进行的。

3.根据权利要求2所述的干燥方法，其中，

所述多个销的间隔为5～20mm。

4.根据权利要求2或者3所述的干燥方法，其中，

所述多个销中，相邻销之间的间隔为随机设置的。

5.根据权利要求2～4的任一项中所述的干燥方法，其中，

在所述干燥工序中，使具有以规定的间隔形成的多个槽的部件与在所述基材上涂敷涂敷液的面的相反面接触，同时进行干燥。

6.根据权利要求2～4的任一项中所述的干燥方法，其中，

在所述干燥工序中，使多个绳索状的部件以规定的间隔与在所述基材上涂敷涂敷液的面的相反面接触，同时进行干燥。

7.根据权利要求2～4的任一项中所述的干燥方法，其中，

在所述干燥工序中，以规定的间隔以及图案向在所述基材上涂敷涂敷液的面喷吹规定温度的气体，同时进行干燥。

8.根据权利要求2～4的任一项中所述的干燥方法，其中，

在所述干燥工序中，以规定的间隔以及图案向在所述基材上涂敷涂敷液的面喷吹规定温度的溶剂，同时进行干燥。

9.一种干燥装置，其特征在于，具备：

载置台，载置基材；

涂敷液供给机构，与所述载置台相对配置，并向所述基材的表面供给涂敷液；和

基板输送机构，使所述载置台和所述涂敷液供给机构相对移动，

还具有与所述基板中的被供给所述涂敷液的面的相反面的规定位置接触的多个销。

10.一种干燥装置，其特征在于，具备：

载置台，载置基材；

涂敷液供给机构，与所述载置台相对配置，并向所述基材的表面供给涂敷液；和

基板输送机构，使所述载置台和所述涂敷液供给机构相对移动，

在所述基材的涂敷液面侧配置加热用灯，并且，在所述载置台与加热用灯之间、或者在配置所述加热用灯的一侧的相反侧，配置以规定的间隔形成了规定直径的孔的金属板。

11.一种干燥装置，其特征在于，具备：

载置台，载置基材；

涂敷液供给机构，与所述载置台相对配置，并向所述基材的表面供给涂敷液；和

基板输送机构，使所述载置台和所述涂敷液供给机构相对移动，

并具有以规定的间隔向所述基板的涂敷液面喷吹规定温度的空气的机构。

12.一种干燥装置，其特征在于，具备：

载置台，载置基材；

涂敷液供给机构，与所述载置台相对配置，并向所述基材的表面供给涂敷液；和

基板输送机构，使所述载置台和所述涂敷液供给机构相对移动，

并具有以规定的间隔向所述基板的涂敷液面喷吹规定温度的溶剂的机构。