[发明专利]用于识别电子电路中的缺陷的装置及方法

说明书

技术领域

本发明大体而言涉及对电子器件的电性检测领域，且具体而言，涉及对刚性及挠性液晶（Liquid Crystal；LC）显示器和有机发光二极管（Organic Light Emitting Diode；OLED）显示器的检测以及用于检测和缺陷探测的系统。

背景技术

液晶显示器（Liquid Crystal Display；LCD）面板包含具有电场相依光调制特性（electric-field dependent light modulating property）的液晶。液晶显示器面板最常用于在从传真机、手机、平板计算机及膝上型计算机屏幕到大屏幕高清晰度电视在内的各种器件中显示图像及其他信息。有源矩阵LCD面板是由几个功能层组成的复杂分层结构：一个或多个偏光膜层；TFT玻璃基板，包含有薄膜晶体管、存储电容器、像素电极及互连件，所述互连件配接彩色滤光片玻璃基板与透明共用电极，所述彩色滤光片玻璃基板包含有黑色矩阵及彩色滤光片阵列；取向膜，由聚酰亚胺制成；以及实际液晶材料，包含有塑料/玻璃间隔件以保持适当的LCD单元厚度。

LCD面板是在洁净室环境中在高度受控状态下制造以使良率最大化。尽管如此，某些LCD可能因组装产品中的制造瑕疵而不得不被丢弃。

为提高LCD面板生产良率，在LCD面板的整个制造过程期间实施多个检测与修复步骤。在这些步骤当中，最关键的检测步骤之一是阵列测试（在TFT阵列制作过程结束时执行的电性检测步骤）。

LCD制造商当前可在市场上获得几种常规阵列测试技术，其中最流行的当数如例如以引用方式全文并入本文中的美国专利4,983,911中所述使用电光换能器（调制器）的电性LCD检测。一个此种类型的实例性LCD检测器件是可自位于美国加利福尼亚州圣何塞市的光子动力（Photon Dynamics）公司（一家奥宝公司）购得的阵列检查器（Array Checker）。具体而言，上述阵列检查器检测系统采用一种叫做“电压成像”的方法，所述方法利用基于反射型液晶的调制器来测量个别TFT阵列像素上的电压。在通过阵列检查器来对TFT阵列进行检测时，通过测试图案（test pattern）产生器子系统来对受测试TFT面板施加驱动电压图案（voltage pattern），并通过使上述电光调制器的位置紧密靠近受测试TFT阵列（通常相距大约50微米）并使其经受高压方波电压图案来测量所得面板像素电压。例如，被施加至调制器的电压方波图案的振幅可为300V、频率60Hz。由于电光调制器靠近被施加有驱动电压的受测试TFT阵列的像素，在检测系统的电光调制器两端会形成电位，所述电位迫使调制器中的液晶改变其电场相依空间取向，从而局部地改变其透过调制器的光透射率。换句话说，调制器的光透射率可表示与其靠近的阵列像素上的电压。为捕获发生改变的调制器透射率，使用光脉冲来照射调制器并使由承受面板电压的调制器反射的光成像至电压成像光学子系统（voltage imaging optical subsystem；VIOS）照相机上，所述照相机获取所得图像并使其数字化。上述光脉冲的持续时间可为例如1毫秒。一种用于将原始电压图像转换成LCD像素图（map）并使用所述图来探测缺陷的实例性系统及方法阐述于以引用方式全文并入本文中的第7,212,024号美国专利中。

然而，由于根据常规检测技术，在检测期间被施加至受测试TFT面板的驱动电压不被连续监测或控制，因而任何测试图案产生器子系统漂移或系统或面板状态的变化均可导致各顺次的TFT面板在不同状态下受到检测或在检测过程期间不知不觉地被损坏。在没有实时监测的情况下，缺陷探测精度及可重复性的变化将无人知晓，直到面板到达制造工厂中的组立工艺（cell process）为止。到问题在组立工艺中被发现的时候，成千上万的面板可能已被损坏或在次于最佳状态下被检测，从而给制造商带来经济损失。

发明内容

本发明涉及用于实质上消除一个或多个与用于检测电子电路的常规技术相关联的上述及其他问题的方法及系统。

根据本文所述实施例的一个方面，提供一种用于识别电子电路中的缺陷的装置，所述装置包含：电路驱动模块，用以对所述电子电路施加电性测试信号；缺陷探测模块，用以至少根据所施加的所述电性测试信号来识别所述电子电路中的所述缺陷；信号监测模块，用以在所述电子电路处测量所述电性测试信号；以及控制模块，可操作地耦合至所述信号监测模块及所述电路驱动模块，并用以根据在所述电子电路处测量的所述电性测试信号来控制至少所述电路驱动模块。