[发明专利]一种增强金属基挡板吸附薄膜态物质的工艺有效

专利信息
申请号: 201410096131.4 申请日: 2014-03-16
公开(公告)号: CN103882367A 公开(公告)日: 2014-06-25
发明(设计)人: 曲文超;郭丽娟;孙廷芳;徐晓东;西澤裕;宇佐美守 申请(专利权)人: TDK大连电子有限公司
主分类号: C23C4/12 分类号: C23C4/12;C23C4/08
代理公司: 大连星海专利事务所 21208 代理人: 王树本
地址: 116600 辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 增强 金属 挡板 吸附 薄膜 物质 工艺
【权利要求书】:

1.一种增强金属基挡板吸附薄膜态物质的工艺,其特征在于包括以下步骤:

(a)喷砂清洗,使用颗粒尺寸为35~45目的石英砂对金属基挡板进行喷砂清洗、用于增加金属基挡板表面粗糙度,所述喷砂清洗工艺参数为:压缩空气压力控制在0.6~0.8MPa、喷射距离控制在180~200mm、喷射角度控制在60°~90°;

(b)电弧喷涂,将原材料金属呈熔化或半熔化状态制备到金属基挡板表面、得到涂层厚度为480~520μm、涂层粗糙度为100~120μm,的金属涂层,所述电弧喷涂工艺参数为:电压控制在30~35V、电流控制在180~200A、压缩空气压力控制在50~60psi、喷涂工作距离控制在150~200mm;

(c)水浴清洗,将步骤(b)制备有金属涂层的金属基挡板进行27~33℃温水浴超声清洗,清洗后使用高压氮气吹干,用于提高金属涂层的表面活性。

2.根据权利要求1所述一种增强金属基挡板吸附薄膜态物质的工艺,其特征在于:所述金属基挡板材质选自铝、铜或不锈钢中的一种。

3.根据权利要求1所述一种增强金属基挡板吸附薄膜态物质的工艺,其特征在于:所述原材料金属选自低熔点、无磁性、纯度为99.9%~99.99%的金属铝。

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