[发明专利]一种炉管的漏水检测方法在审
| 申请号： | 201410106628.X | 申请日： | 2014-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN103899920A | 公开（公告）日： | 2014-07-02 |
| 发明（设计）人： | 佘广超;俞玮;万家俊 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | F17D5/02 | 分类号： | F17D5/02 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 吴俊 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 炉管 漏水 检测 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种炉管的漏水检测方法，所述炉管包括：装载区和歧管，所述装载区与所述歧管连通，在所述装载区与所述歧管之间设置有换气挡板，用以密封所述装载区，其特征在于，将漏水检知线设置于所述换气挡板上表面，采用所述漏水检知线检测所述炉管是否漏水。
2.如权利要求1所述一种炉管的漏水检测方法，其特征在于，所述漏水检知线设置于所述换气挡板的边缘区域。
3.如权利要求1所述一种炉管的漏水检测方法，其特征在于，所述炉管还包括：冷却装置，所述的冷却装置通过冷却水管端口与所述歧管连通，所述的冷却水管端口通过快速接头固定于所述歧管上。
4.如权利要求1所述一种炉管的漏水检测方法，其特征在于，所述炉管还包括：反应腔，所述反应腔通过所述歧管与所述装载区连通。
5.如权利要求4所述一种炉管的漏水检测方法，其特征在于，所述炉管还包括：晶舟，所述晶舟用以装载晶圆，将所述晶圆从装载区升至反应腔中。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司，未经上海华力微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201410106628.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：巯基聚乙二醇在制备水溶性金纳米簇中的应用
- 下一篇：超细铁粉的生产方法
