[发明专利]用于合金抛光的氧化铝抛光液及其制备方法在审
申请号: | 201410106753.0 | 申请日: | 2014-03-21 |
公开(公告)号: | CN103937413A | 公开(公告)日: | 2014-07-23 |
发明(设计)人: | 曾名辉 | 申请(专利权)人: | 深圳市宇泰隆科技有限公司 |
主分类号: | C09G1/02 | 分类号: | C09G1/02 |
代理公司: | 深圳市中联专利代理有限公司 44274 | 代理人: | 李俊 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 合金 抛光 氧化铝 及其 制备 方法 | ||
1.一种用于合金抛光的氧化铝抛光液,其特征在于,包括以下质量百分含量的各组分:
所述表面活性剂为聚丙烯酸,十二烷基硫酸钠,二苯胺磺酸钠中的一种或其任意组合物。
2.如权利要求1所述的用于合金抛光的氧化铝抛光液,其特征在于,所述氧化铝为α氧化铝,所述氧化铝的平均粒径为200-10000纳米。
3.如权利要求1所述的用于合金抛光的氧化铝抛光液,其特征在于,所述缓蚀剂为磷酸氢二钠、醋酸、草酸、苯并三氮唑、硫脲和2-甲基咪唑,2-异丙基咪唑中的一种或数种的组合。
4.如权利要求1所述的用于合金抛光的氧化铝抛光液,其特征在于,所述pH调节剂为碱性有机胺或有机酸,碱性有机胺如三乙胺和二异丁基胺中至少一种,有机酸如乙二胺四乙酸和柠檬酸中至少一种。
5.如权利要求1所述的用于合金抛光的氧化铝抛光液,其特征在于,所述抛光液的pH范围为2-11,优选为2-4。
6.如权利要求1-4任一项所述的用于合金抛光的氧化铝抛光液的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
1)按配方分别称量各组分;
2)在所述去离子水中加入所述表面活性剂,搅拌均匀,得混合物一;
3)然后在混合物一中加入缓蚀剂磷酸氢二钠,搅拌均匀,得混合物二;
4)在混合物二中加入pH调节剂,调节至期望pH值,搅拌均匀,即得到所述氧化铝抛光液。
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