[发明专利]用于合金抛光的氧化铝抛光液及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201410106753.0 申请日: 2014-03-21
公开(公告)号: CN103937413A 公开(公告)日: 2014-07-23
发明(设计)人: 曾名辉 申请(专利权)人: 深圳市宇泰隆科技有限公司
主分类号: C09G1/02 分类号: C09G1/02
代理公司: 深圳市中联专利代理有限公司 44274 代理人: 李俊
地址: 518000 广东省深圳市龙*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 用于 合金 抛光 氧化铝 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种用于合金抛光的氧化铝抛光液,其特征在于,包括以下质量百分含量的各组分:

所述表面活性剂为聚丙烯酸,十二烷基硫酸钠,二苯胺磺酸钠中的一种或其任意组合物。

2.如权利要求1所述的用于合金抛光的氧化铝抛光液,其特征在于,所述氧化铝为α氧化铝,所述氧化铝的平均粒径为200-10000纳米。

3.如权利要求1所述的用于合金抛光的氧化铝抛光液,其特征在于,所述缓蚀剂为磷酸氢二钠、醋酸、草酸、苯并三氮唑、硫脲和2-甲基咪唑,2-异丙基咪唑中的一种或数种的组合。

4.如权利要求1所述的用于合金抛光的氧化铝抛光液,其特征在于,所述pH调节剂为碱性有机胺或有机酸,碱性有机胺如三乙胺和二异丁基胺中至少一种,有机酸如乙二胺四乙酸和柠檬酸中至少一种。

5.如权利要求1所述的用于合金抛光的氧化铝抛光液,其特征在于,所述抛光液的pH范围为2-11,优选为2-4。

6.如权利要求1-4任一项所述的用于合金抛光的氧化铝抛光液的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

1)按配方分别称量各组分;

2)在所述去离子水中加入所述表面活性剂,搅拌均匀,得混合物一;

3)然后在混合物一中加入缓蚀剂磷酸氢二钠,搅拌均匀,得混合物二;

4)在混合物二中加入pH调节剂,调节至期望pH值,搅拌均匀,即得到所述氧化铝抛光液。

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