[发明专利]剥离装置

权利要求书

1.一种剥离装置，用于使第一板状体和第二板状体剥离，所述第二板状体的平面尺寸小于所述第一板状体的平面尺寸，并且所述第二板状体隔着薄膜或者图案紧贴在所述第一板状体上，所述剥离装置的特征在于，

具有：

保持载物台，其上表面为平面尺寸大于所述第一板状体的形成有所述薄膜或者图案的有效区域的平面尺寸的水平的保持面，使所述第一板状体的面中的与所述第二板状体紧贴的一面相反的一侧的另一面与所述保持面抵接，来保持所述第一板状体，

剥离单元，其保持所述第二板状体，来使所述第二板状体相对于被保持在所述保持载物台上的所述第一板状体，向与所述第一板状体分离的方向移动，

支撑构件，其上端向所述保持面的上方突出，并且所述上端与所述第一板状体的所述另一面局部抵接，从而将所述第一板状体支撑在与所述保持面分离的状态，

升降单元，其使所述支撑构件相对于所述保持面的高度方向位置在上部位置和下部位置之间变更，所述上部位置是指，所述支撑构件的所述上端向所述保持面的上方突出的位置，所述下部位置是指，所述上端位于所述保持面的高度以下的位置；

所述支撑构件抵接于所述第一板状体的所述另一面中的与在所述一面侧中与所述第二板状体紧贴的区域相对应的区域内且所述有效区域的外侧抵接。

2.根据权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，所述保持面的平面尺寸大于所述第二板状体的平面尺寸，并且在所述保持面中的与载置于所述保持面的所述第一板状体的所述有效区域相对应的区域的外侧且与所述第二板状体相对应的区域的内侧设置有开口，在所述支撑构件位于所述上部位置时，所述上端通过所述开口来向所述保持面的上方突出。

3.根据权利要求2所述的剥离装置，其特征在于，分别设置多个所述支撑构件以及所述开口，所述多个支撑构件一体地相对于所述保持面进行升降。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的剥离装置，其特征在于，在所述保持面中的与所述有效区域相对应的区域内设置与设置有所述支撑构件的所述开口不同的第二开口，并且具有从该第二开口向所述保持面的上方突出来支撑所述第一板状体的辅助支撑构件。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的剥离装置，其特征在于，具有空隙形成构件，该空隙形成构件使被保持在所述保持载物台上的所述第一板状体的周缘部向上方发生位移，从而在所述第一板状体的周缘部和所述保持面之间产生空隙。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的剥离装置，其特征在于，

所述保持载物台具有水平载物台部和锥形载物台部，所述水平载物台部的上表面具有所述保持面，所述锥形载物台部的上表面与所述保持面相连接，并且所述锥形载物台部呈朝向与所述保持面分离的方向形成下坡的锥形面，在使所述第一板状体中的所述有效区域的外侧的周缘部向所述锥形面的上方突出的状态下，保持所述第一板状体；

还具有按压构件，该按压构件将向所述锥形面的上方突出的所述第一板状体的所述周缘部按压来使之向下方弯曲，来使所述第一板状体和所述第二板状体之间开始剥离；

所述水平载物台部和所述锥形载物台部能够在水平方向上进行分离，至少一个所述支撑构件从因分离而产生的所述水平载物台部和所述锥形载物台部之间的间隙，相对于所述保持面进行升降。