[发明专利]剥离装置

说明书

技术领域

本发明涉及使相互紧贴的两张板状体剥离来分离的剥离装置。

背景技术

作为在玻璃基板或半导体基板等板状体上形成规定的图案或薄膜的技术，存在如下，即，将担载于其它板状体上的图案或薄膜（下面，称为“图案”等）转印至基板。在该技术中，在使两张板状体紧贴来将图案等从一方转印至另一方之后，需要在不损坏图案的情况下使两张板状体剥离。

作为能够利用于该目的的技术，例如在日本特开2008-287949号公报中记载了使隔着有机层相互紧贴的元件形成用基板和转印用基板剥离的装置。在该技术中，将粘接的两张基板保持为水平姿势，在将上下基板分别进行真空吸附的状态下，使上下基板向分离方向移动。上下基板分别被分散配置的多个吸附垫吸附保持。

这种转印技术逐渐应用于各种器件制造工序中，但是随着用于形成图案等的材料变得多样、图案变得微细、基板变大等，需要在剥离工序中进行更细致的管理。即，为了防止因局部应力集中而导致图案等损坏，需要恰当地管理剥离的进行情况。但是，为了按照这样的要求，在上述现有技术中存在应该改进的如下的问题。

第一，在上述现有技术中，由于上下基板分别被吸附垫局部吸附，因此存在如下那样的不能在恰当的管理下进行剥离的情况，即，在该吸附部位中产生局部的基板之间的剥离等。尤其，在形成有图案等的区域使吸附垫与基板抵接时，可能在该区域集中大的剥离力而使图案等损坏。

第二，在这种剥离装置中，将由两张板状体紧贴而成的紧贴体搬入于装置并使它们相互剥离。此时，如上所述，因应力局部集中于图案等而导致图案等损坏，因此需要考虑用于不产生这样的应力来从外部接受紧贴体的装置结构。但是，在上述现有技术中，没有考虑到这一点。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种技术，在使相互紧贴的两张板状体剥离来分离的剥离装置中，能够良好地进行剥离，并且能够良好地搬入由板状体紧贴而成的紧贴体。

在本发明的一个方式中，为了达到上述目的，提供一种剥离装置，用于使第一板状体和第二板状体剥离，上述第二板状体的平面尺寸小于第一板状体的平面尺寸，并且上述第二板状体隔着薄膜或者图案紧贴在第一板状体上，上述剥离装置具有：保持载物台，其上表面为平面尺寸大于第一板状体的形成有薄膜或者图案的有效区域的平面尺寸的水平的保持面，使第一板状体的面中的与第二板状体紧贴的一面相反的一侧的另一面与保持面抵接，来保持第一板状体，剥离单元，其保持第二板状体，来使第二板状体相对于被保持在保持载物台上的第一板状体，向与第一板状体分离的方向移动，支撑构件，其上端向保持面的上方突出，并且上端与第一板状体的另一面局部抵接，从而将第一板状体支撑在与保持面分离的状态，升降单元，其使支撑构件相对于保持面的高度方向位置在上部位置和下部位置之间变更，上述上部位置的指，支撑构件的上端向保持面的上方突出的位置，上述下部位置是指，上端位于保持面的高度以下的位置；支撑构件抵接于第一板状体的另一面中的与在一面侧中与第二板状体紧贴的区域相对应的区域内且有效区域的外侧。

在这样构成的发明中，由于在使第一板状体与保持载物台的保持面抵接的状态下使第一板状体与第二板状体剥离，因此能够在将第一板状体保持为平面姿势的状态下进行剥离。因此，能够避免应力局部集中于形成在第一板状体和第二板状体之间的图案或者薄膜（下面，称为“图案等”），从而能够防止因应力集中而使图案等损坏。

另外，在搬入第一板状体和第二板状体的紧贴体时，支撑构件发挥主要的作用。即，在从保持面向上方突出的上部位置，支撑构件能够以使第一板状体与保持面分离的状态支撑第一板状体，因此能够接受从外部搬入的紧贴体。并且，通过使支撑构件后退至保持面的下方的下部位置，将紧贴体从支撑构件交至保持载物台。这样，支撑构件发挥接受从外部搬入的紧贴体来载置于保持载物台的功能。

此时，若支撑构件在相当于有效区域内的区域与第一板状体相抵接，则在该抵接部位有大的按压力作用于图案等。另外，若在第一板状体和第二板状体紧贴的区域的外侧与第一板状体相抵接，则需要用第一板状体支撑整个紧贴体的自重，若第一板状体的刚性低则可能发生弯曲。在本发明中，支撑构件在第一板状体和第二板状体紧贴且形成有有效的图案等的有效区域的外侧支撑第一板状体，因此不会产生这样的问题。

这样，根据本发明，能够使相互紧贴的两张板状体良好地进行剥离，并且也能够在不损坏图案等的情况下良好地接受从外部搬入的紧贴体。