[发明专利]一种透射电镜用基于形状记忆效应的原位单轴拉伸变形装置

权利要求书

1.一种透射电镜用基于形状记忆效应的原位单轴拉伸变形装置，其特征在于：该装置由驱动装置、支撑装置和拉-压力转换装置组成；驱动装置为记忆合金弹簧，以下简称弹簧；该弹簧一端固定在金属环上，另一端与拉-压力转换装置粘结；支撑装置为金属环；拉-压力转换装置包括悬臂梁、第一拉伸梁、第一载物台、第二载物台、第二拉伸梁、支撑梁，悬臂梁一侧设有凸出的接触点，通过该接触点与弹簧的一端粘结，悬臂梁一侧是第一拉伸梁，第一拉伸梁顶端是第一载物台，第一载物台与第二载物台成中心对称分布，第二载物台通过第二拉伸梁连接支撑梁，支撑梁与悬臂梁平行设置在刚性环中，两者之间设有第一拉伸梁、第一载物台、第二载物台和第二拉伸梁；弹簧和刚性环固定于金属环上。

2.根据权利要求1所述的一种透射电镜用基于形状记忆效应的原位单轴拉伸变形装置，其中，所述弹簧，其材质为Ni-Ti、Cu-Zn-Al或Fe-Mn-Si，厚度在50-100μm之间。

3.根据权利要求1所述的一种透射电镜用基于形状记忆效应的原位单轴拉伸变形装置，其中，所述的金属环材质为铜、钼或合金，厚度在25-30μm之间。

4.根据权利要求1所述的一种透射电镜用基于形状记忆效应的原位单轴拉伸变形装置，其中，所述的拉-压力转换装置，其材质为金属、合金或陶瓷；厚度在50-100μm之间。

5.根据权利要求1所述的一种透射电镜用基于形状记忆效应的原位单轴拉伸变形装置，拉-压力转换装置通过刻蚀技术或半导体工艺加工制得。