[发明专利]低温泵及真空排气方法

权利要求书

1.一种低温泵，其特征在于，具备：

制冷机，具备第1冷却台及被冷却成温度低于所述第1冷却台的第2冷却台；

第1低温板，具备具有主开口的放射屏蔽件及配设在所述主开口的入口低温板，且与所述第1冷却台热连接；以及

第2低温板，被所述第1低温板包围，且与所述第2冷却台热连接，

所述放射屏蔽件具备：安装座，位于所述第2低温板的侧向，且用于将所述制冷机安装于所述放射屏蔽件上；以及屏蔽件部分，与所述安装座相邻且包围所述第2低温板，

在所述第2低温板与所述安装座之间形成有侧向间隙，在所述第2低温板与所述屏蔽件部分之间形成有与所述侧向间隙连续的间隙部，

所述第2低温板的形状或配置被调整为使所述侧向间隙的宽度与所述间隙部的宽度一致。

2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

所述第2低温板具有使所述侧向间隙宽度扩大的缺口部。

3.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，

所述第2低温板被配置成所述第2低温板的中心偏离穿过所述主开口的轴线，以使所述第2低温板与所述安装座拉开距离。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的低温泵，其特征在于，

所述第2低温板具备与所述入口低温板对置的前表面，所述前表面具备中心区域和包围所述中心区域的外侧区域，

所述入口低温板具备用于使冷凝于所述第2低温板的气体通过的气体通过区域和气体遮蔽区域，所述气体通过区域与所述外侧区域对置，所述气体遮蔽区域与所述中心区域对置。

5.根据权利要求4所述的低温泵，其特征在于，

所述气体通过区域具备板部分，该板部分具有多个小孔。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的低温泵，其特征在于，

所述放射屏蔽件上形成有用于安装所述制冷机的安装孔，

所述制冷机具备连接所述第1冷却台和所述第2冷却台的连接部分，所述连接部分被插入到所述安装孔中，

在所述连接部分与所述安装孔之间，在靠近所述主开口一侧形成有上方间隙，在远离所述主开口一侧形成有下方间隙，所述上方间隙的宽度比所述下方间隙的宽度宽。