[发明专利]低温泵及真空排气方法

说明书

本申请主张基于2013年3月25日申请的日本专利申请第2013-062560号以及2013年6月14日申请的日本专利申请第2013-125819号的优先权。这些日本专利申请的全部内容通过参考援用于本说明书中。

技术领域

本发明涉及一种低温泵。

背景技术

低温泵一般具备温度不同的两种低温板。气体冷凝在低温的低温板上。随着低温泵的使用，在低温低温板上冷凝层逐渐成长，不久可能会与高温的低温板接触。如此一来，在高温低温板与冷凝层的接触部位，气体再次气化而向周围释放。此后，低温泵将无法充分发挥原来的作用。因此，此时的气体的吸留量成为低温泵的最大吸留量。

专利文献1：日本特开2009-275672号公报

发明内容

本发明的一种实施方式的例示性目的之一在于提高低温泵的气体吸留量。

本发明的一种实施方式的低温泵，其具备：制冷机，具备第1冷却台及被冷却成温度低于所述第1冷却台的第2冷却台；第1低温板，具备具有主开口的放射屏蔽件及配设在所述主开口的入口低温板，且与所述第1冷却台热连接；以及第2低温板，被所述第1低温板包围，且与所述第2冷却台热连接。所述放射屏蔽件具备：安装座，位于所述第2低温板的侧向，且用于将所述制冷机安装于所述放射屏蔽件上；以及屏蔽件部分，与所述安装座相邻且包围所述第2低温板。在所述第2低温板与所述安装座之间形成有侧向间隙，在所述第2低温板与所述屏蔽件部分之间形成有与所述侧向间隙连续的间隙部，所述第2低温板的形状或配置被调整为使所述侧向间隙的宽度与所述间隙部的宽度一致。

另外，将本发明的构成要件或表现形式在方法、装置及系统等之间相互替换的技术也作为本发明的方式有效。

根据本发明，能够提高低温泵的气体吸留量。

附图说明

图1是示意表示本发明的第1实施方式所涉及的低温泵的主要部分的侧视剖视图。

图2是示意表示本发明的第1实施方式所涉及的顶板的俯视图。

图3是示意表示本发明的第1实施方式所涉及的板部件的俯视图。

图4是示意表示本发明的第1实施方式所涉及的排气运行中的低温泵的图。

图5是示意表示本发明的第2实施方式所涉及的低温泵的主要部分的侧视剖视图。

图6是示意表示本发明的第3实施方式所涉及的低温泵的主要部分的侧视剖视图。

图中：10-低温泵，16-制冷机，18-第1低温板，20-第2低温板，22-第1冷却台，24-第2冷却台，26-屏蔽件开口，30-放射屏蔽件，32-板部件，36-屏蔽件侧部，37-安装座，41-开环状部分，42-安装孔，43-侧向间隙，44-间隙部，46-上方间隙，48-下方间隙，50-板主体部，52-板外缘部，54-小孔，56-气体通过区域，58-气体遮蔽区域，61-顶板前表面，62-中心区域，63-外侧区域，74-缺口部。

具体实施方式

图1是示意表示本发明的第1实施方式所涉及的低温泵10的主要部分的侧视剖视图。低温泵10例如安装于离子注入装置或溅射装置等的真空腔室，用于将真空腔室内部的真空度提高至所希望的工艺所要求的水平为止。低温泵10具有用于接收气体的吸气口12。应被排出的气体从安装有低温泵10的真空腔室通过吸气口12进入低温泵10的内部空间14。图1示出包含低温泵10的内部空间14的中心轴A的截面。

另外，以下为了便于理解低温泵10的构成要件的位置关系，有时使用“轴向”、“放射方向”等术语。轴向表示穿过吸气口12的方向（图1中沿单点划线A的方向），放射方向表示沿吸气口12的方向（与单点划线A垂直的方向）。为方便起见，有时将在轴向上相对靠近吸气口12的方向称作“上”，相对远离的方向称作“下”。即，有时将相对远离低温泵10的底部的方向称作“上”，相对靠近的方向称作“下”。在放射方向上，有时将靠近吸气口12的中心（图1中为中心轴A）的方向称作“内”，将靠近吸气口12的周缘的方向称作“外”。放射方向也可以称为径向。另外，这种表现形式与低温泵10安装于真空腔室时的配置无关。例如，低温泵10可以沿垂直方向使吸气口12朝下来安装于真空腔室。

并且，有时将围绕轴向的方向称作“周向”。周向为沿吸气口12的第2方向，且为与径向正交的切线方向。