[发明专利]一种光刻胶的剥离装置及剥离方法

权利要求书

1.一种光刻胶的剥离装置，包括：设置有用于喷淋剥离液的喷头的剥离单元以及设置有用于喷淋清洗液的喷头的预清洗单元和清洗单元，其特征在于，还包括：

检测单元，用于在检测到基板处于静止状态，所述基板所处位置部分位于所述预清洗单元且部分位于所述剥离单元时，控制所述预清洗单元中的喷头停止对所述基板喷淋清洗液；

所述检测单元具体包括：

监测模块，用于实时监测所述基板在所述剥离单元、所述预清洗单元以及所述清洗单元中的运动状态；

确定模块，用于在所述监测模块监测到所述基板处于静止状态时，确定所述基板所处位置是否部分位于所述预清洗单元且部分位于所述剥离单元；还用于在所述监测模块监测到所述基板处于移动状态时，确定所述基板是否完全离开所述剥离单元；

控制模块，用于在所述确定模块确定所述基板所处位置为部分位于所述预清洗单元且部分位于所述剥离单元时，控制所述预清洗单元中的喷头停止对所述基板喷淋清洗液；还用于在所述确定模块确定所述基板完全离开所述剥离单元时，控制所述预清洗单元中的喷头恢复喷淋清洗液。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述确定模块，具体用于确定设置于所述预清洗单元的入口处的感应器是否感应到所述基板的存在；若是，则确定所述基板所处位置为部分位于所述预清洗单元且部分位于所述剥离单元。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述确定模块，具体用于确定设置于所述预清洗单元的入口处的感应器是否感应到所述基板的存在；若否，则确定所述基板完全离开所述剥离单元。

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制模块，还用于在所述监测模块监测到所述基板处于移动状态时，控制所述预清洗单元中的喷头恢复喷淋清洗液。

5.一种光刻胶的剥离方法，包括：控制涂覆有光刻胶的基板依次通过设置有用于喷淋剥离液的喷头的剥离单元、设置有用于喷淋清洗液的喷头的预清洗单元和清洗单元，其特征在于：

在检测到所述基板处于静止状态，所述基板所处位置部分位于所述预清洗单元且部分位于所述剥离单元时，控制所述预清洗单元中的喷头停止对所述基板喷淋清洗液；

当监测到所述基板处于移动状态时，确定所述基板是否完全离开所述剥离单元；

当确定所述基板完全离开所述剥离单元时，控制所述预清洗单元中的喷头恢复喷淋清洗液；

所述在检测到所述基板处于静止状态，所述基板所处位置部分位于所述预清洗单元且部分位于所述剥离单元时，控制所述预清洗单元中的喷头停止对所述基板喷淋清洗液，具体包括：

实时监测所述基板在所述剥离单元、所述预清洗单元以及所述清洗单元中的运动状态；

当监测到所述基板处于静止状态时，确定所述基板所处位置是否部分位于所述预清洗单元且部分位于所述剥离单元；

当确定所述基板所处位置为部分位于所述预清洗单元且部分位于所述剥离单元时，控制所述预清洗单元中的喷头停止对所述基板喷淋清洗液。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述确定所述基板所处位置为部分位于所述预清洗单元且部分位于所述剥离单元，具体包括：

确定设置于所述预清洗单元的入口处的感应器是否感应到所述基板的存在，若是，则确定所述基板所处位置为部分位于所述预清洗单元且部分位于所述剥离单元。

7.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述确定所述基板完全离开所述剥离单元，具体包括：

确定设置于所述预清洗单元的入口处的感应器是否感应到所述基板的存在，若否，则确定所述基板完全离开所述剥离单元。

8.如权利要求5所述的方法，其特征在于，在控制所述预清洗单元中的喷头停止对所述基板喷淋清洗液之后，还包括：

当监测到所述基板处于移动状态时，控制所述预清洗单元中的喷头恢复喷淋清洗液。