[发明专利]薄膜的制造方法及制造设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种进行薄膜的应力衰减（応力緩和）处理的薄膜的制造方法及制造设备。

背景技术

聚酰亚胺薄膜具有高耐热性、高电绝缘性，满足使用上所需的刚性、耐热性或电绝缘性。因此，广泛用于电绝缘薄膜、隔热薄膜、柔性电路板的基膜、太阳能电池基板等工业领域。

聚酰亚胺薄膜通过下述方法制造：将含有聚酰胺酸等的聚酰亚胺前驱体溶液流延到支持体上并干燥，形成自支撑膜，对自支撑膜进行加热处理而制造。

此外，由于在加热处理后的聚酰亚胺薄膜上残留应力，因此进行应力衰减处理（退火处理）来缓和残余应力，进行谋求提高对热的尺寸稳定性。

例如，专利文献1中公开了如下内容：在实际上无张力下，将聚酰亚胺薄膜以150℃以上且420℃以下加热1秒以上且60小时以内后，进行冷却处理直至室温，从而制造改进了加热收缩性的聚酰亚胺薄膜。

此外，专利文献2中公开了如下内容：对聚酰亚胺薄膜在薄膜的长度方向上施加1～10kg/m的张力，同时利用热风连续性地实施加热处理后，实施冷却处理，从而制造低收缩性聚酰亚胺薄膜。

此外，专利文献3中公开了如下内容：对聚酰亚胺薄膜将薄膜的长度方向上的张力保持在1kg/m以上且10kg/m以下，并照射远红外线以短时间进行加热处理后，实施冷却处理，从而制造低收缩性聚酰亚胺薄膜。

此外，并不限于聚酰亚胺薄膜，为了缓和残余应力，谋求提高对热的尺寸稳定性，在各种薄膜上进行薄膜的应力衰减处理。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利公告平成5-87377号公报

专利文献2：日本专利公开2000-72900号公报

专利文献3：日本专利公开2000-72901号公报

发明内容

（一）要解决的技术问题

在应力衰减处理中，聚酰亚胺薄膜有时处于暴露在高于聚酰亚胺薄膜的玻璃化转变温度（以下将玻璃化转变温度标记为Tg）的温度下而软化的状态。因此，聚酰亚胺薄膜在应力衰减装置内输送时，表面容易产生伤痕等。如果在聚酰亚胺薄膜上产生伤痕等，会导致产品不良，因此成品率降低。

因此，本发明的目的在于提供一种薄膜的制造方法及制造设备，其能够以良好的成品率制造对热的尺寸稳定性优异的薄膜。

（二）技术方案

为了实现上述目的，本发明的薄膜的制造方法的特征在于，进行薄膜的应力衰减处理，

使用具备多个薄膜输送导向器的浮置输送装置，所述多个薄膜输送导向器具有设置有气体喷射孔的凸曲面状的薄膜输送面，从所述气体喷射孔对薄膜喷出加热气体，使薄膜交替地在相反方向上弯曲，以非接触状态输送，同时进行所述应力衰减处理。

根据上述发明，通过使用具备多个薄膜输送导向器的浮置输送装置，所述多个薄膜输送导向器具有设置有气体喷射孔的凸曲面状的薄膜输送面，将薄膜在非接触下进行输送，由此即使被加热气体加热而使薄膜软化，也能够不产生伤痕等地进行输送。

此外，如果薄膜软化，薄膜的刚性下降，变得容易产生折皱，但在上述发明中，通过使薄膜交替地在相反方向上弯曲，以非接触状态输送，同时对薄膜加热，由于通过使其弯曲，基于形状的刚性增大，因此能够抑制折皱的产生。

优选地，在本发明的薄膜的制造方法中，设置压薄膜装置，该压薄膜装置与所述薄膜输送导向器的薄膜输送面相对，具有在与该薄膜输送面之间以规定间隙配置的凹曲面，并在该凹曲面上设置有气体喷射孔，利用从所述薄膜输送导向器的气体喷射孔喷出的加热气体和从所述压薄膜装置的气体喷射孔喷出的加热气体，对薄膜的两面喷吹加热气体来进行浮置输送。

根据上述方式，通过利用从薄膜输送导向器的气体喷射孔喷出的加热气体和从压薄膜装置的气体喷射孔喷出的加热气体对薄膜的两面喷吹加热气体来进行浮置输送，能够更加良好地维持薄膜的平坦度，同时能够迅速且均匀地对薄膜进行加热。

优选地，在本发明的薄膜的制造方法中，改变从多个薄膜输送导向器的气体喷射孔喷出的加热气体的温度，来进行所述应力衰减处理。

根据上述方式，通过改变从多个薄膜输送导向器的气体喷射孔喷出的加热气体的温度，能够根据所期望的温度曲线进行应力衰减处理。

本发明的薄膜的制造方法尤其适合对将聚酰亚胺薄膜的前驱体进行加热处理而得到的聚酰亚胺薄膜进行应力衰减处理。