[发明专利]离线机台利用率计算系统及计算方法

权利要求书

1.一种离线机台利用率的计算系统，其特征在于，包括：

机台端文件生成单元，用于以预定命名规则生成机台端文件，所述机台端文件的文件名包括所述离线机台运行过程中处理的晶圆的代码信息以及所述离线机台的运行参数信息；

解析单元，与所述机台端文件生成单元相连，用于解析各所述机台端文件的文件名，以撷取所述离线机台处理每一所述晶圆时的运行参数信息；

数据库，用于存储每一所述离线机台的运行预备时间以及关于所述离线机台的运行参数的运行时间函数；以及

计算单元，分别与所述解析单元、所述数据库相连，用于根据所述离线机台处理每一所述晶圆时的运行参数信息和所述运行时间函数计算每一所述晶圆的运行时间，并根据各所述运行时间及所述运行预备时间获得所述离线机台处理全部所述晶圆的总体运行时间及所述离线机台的利用率。

2.根据权利要求1所述的计算系统，其特征在于，所述离线机台的运行参数包括代表该离线机台所运行的程式的类型的第一参数以及代表该类型程式运行情况的第二参数。

3.根据权利要求1所述的计算系统，其特征在于，所述离线机台的运行预备时间包括晶圆传送时间以及晶圆对准时间。

4.根据权利要求1所述的计算系统，其特征在于，所述计算单元根据所述离线机台处理全部所述晶圆的总体运行时间及该离线机台的可利用时间计算该离线机台的利用率。

5.根据权利要求1所述的计算系统，其特征在于，所述离线机台为扫描电镜检查机，光学检查机，离子束切割机或颗粒检查机。

6.一种离线机台利用率的计算方法，其特征在于，包括以下步骤：

选取一离线机台，所述离线机台生成有以预定命名规则生成机台端文件，所述机台端文件的文件名包括该离线机台运行过程中处理的晶圆的代码信息以及该离线机台的运行参数信息；

解析该离线机台的各所述机台端文件的文件名，以撷取该离线机台处理每一所述晶圆时的运行参数信息；

查询数据库，获得该离线机台的运行预备时间以及关于该离线机台的运行参数的运行时间函数；以及

根据该离线机台处理每一所述晶圆时的运行参数信息和所述运行时间函数计算每一所述晶圆的运行时间，并根据各所述运行时间及所述运行预备时间获得该离线机台处理全部所述晶圆的总体运行时间及该离线机台的利用率。

7.根据权利要求6所述的计算方法，其特征在于，该离线机台的运行参数包括代表该离线机台所运行的程式的类型的第一参数以及代表该类型程式运行情况的第二参数。

8.根据权利要求6所述的计算方法，其特征在于，该离线机台的运行预备时间包括晶圆传送时间以及晶圆对准时间。

9.根据权利要求6所述的计算方法，其特征在于，还包括根据该离线机台处理全部所述晶圆的总体运行时间及该离线机台的可利用时间计算该离线机台的利用率。

10.根据权利要求6所述的计算方法，其特征在于，该离线机台为扫描电镜检查机，光学检查机，离子束切割机或颗粒检查机。