[发明专利]沉积装置和制造有机发光二极管显示器的方法

权利要求书

1.一种制造有机发光二极管显示器的方法，该方法包括：

提供沉积装置，该沉积装置包括沉积室、配置为供应沉积材料的沉积源、以及配置为沿第一方向在第一源位置与第二源位置之间移动所述沉积源的沉积源传送机构；

将第一基底从所述沉积室外沿第二方向传送，以将所述第一基底放置在所述沉积室内的第一基底位置；

随后将第一沉积掩模相对于位于所述第一基底位置的所述第一基底对准；

随后通过从位于所述第一源位置的所述沉积源将所述沉积材料涂覆到所述第一基底来执行所述第一基底的沉积；

将第二基底从所述沉积室外侧沿第二方向传送，以将所述第二基底放置在所述沉积室内的第二基底位置；

在执行所述第一基底的沉积的同时，将第二沉积掩模相对于位于所述第二基底位置的所述第二基底对准；

在完成所述第一基底的沉积后，将所述沉积源沿所述第一方向从所述第一源位置传送到所述第二源位置；和

随后通过从位于所述第二源位置的所述沉积源将所述沉积材料涂覆到所述第二基底来执行所述第二基底的沉积。

2.根据权利要求1所述的方法，进一步包括，在执行所述第二基底的沉积的同时，沿所述第二方向将所述第一基底从所述沉积室内传送到所述沉积室外。

3.一种制造有机发光二极管显示器的方法，该方法包括：

提供多个沉积装置，每个沉积装置包括沉积室、配置为供应沉积材料的沉积源、以及配置为沿第一方向在第一源位置与第二源位置之间移动所述沉积源的沉积源传送机构，其中所述多个沉积装置包括沿第二方向布置的第一沉积装置、第二沉积装置和第三沉积装置；

将第一基底沿所述第二方向从所述第一沉积装置传送到所述第二沉积装置，以将所述第一基底放置在所述第二沉积装置的所述沉积室内的所述第一基底位置；

随后将第一沉积掩模相对于位于所述第一基底位置的所述第一基底对准；

随后通过从位于所述第一源位置的所述沉积源将所述沉积材料涂覆到所述第一基底来执行所述第一基底的沉积；

将第二基底沿所述第二方向从所述第一沉积装置传送到所述第二沉积装置，以将所述第二基底放置在所述第二沉积装置的所述沉积室内的所述第二基底位置；

在执行所述第一基底的沉积的同时，将第二沉积掩模相对于位于所述第二基底位置的所述第二基底对准；

在完成所述第一基底的沉积后，将所述沉积源沿所述第一方向从所述第一源位置传送到所述第二源位置；

随后通过从位于所述第二源位置的所述沉积源将所述沉积材料涂覆到所述第二基底来执行所述第二基底的沉积；和

在执行所述第二基底的沉积的同时，将所述第一基底沿所述第二方向从所述沉积室内传送到所述沉积室外。

4.根据权利要求3所述的方法，其中在所述第一沉积装置和所述第二沉积装置中使用的所述沉积材料彼此不同。

5.根据权利要求3所述的方法，其中在所述第一沉积装置中使用的所述沉积掩模和在所述第二沉积装置中使用的所述沉积掩模彼此不同。