[发明专利]沉积装置和制造有机发光二极管显示器的方法

说明书

一种沉积装置和制造有机发光二极管显示器的方法，该沉积装置包括：沉积室；多个基底支架，包括被配置为将基底维持在沉积室中的第一基底位置的第一支架和被配置为将另一基底维持在沉积室中的第二基底位置的第二支架；沉积源，被设置在沉积室中，并被配置为供应沉积材料以涂覆到放置在第一和第二基底位置的基底上；沉积源传送机构，被配置为在第一方向上移动沉积源以与第一和第二基底中的一个相对；以及基底传送机构，被配置为在第二方向上将基底传送到第一基底位置或者从第一基底位置传送，并进一步被配置为在第二方向上将另一基底传送到第二基底位置或者从第二基底位置传送。

技术领域

本公开涉及沉积装置、包括该沉积装置的沉积系统以及制造有机发光二极管显示器的方法。

背景技术

有机发光二极管（OLED）显示器是一种平板显示器，因为它具有自发光特性，并且不需要单独的光源，从而可以被制造得重量轻且薄。特别是，OLED显示器呈现了例如低功耗、高亮度、高响应速度的品质特性，因此，OLED显示器作为下一代显示装置而备受瞩目。

通常，OLED显示器包括有机发光元件，有机发光元件包括阳极、有机发光层和阴极。空穴和电子分别从阳极和阴极注入，形成激子，激子跃迁到基态，从而使有机发光二极管发光。

阳极和阴极可以由金属薄膜或透明导电性薄膜形成，有机发光层可以由至少一种有机薄膜形成。真空沉积法可被用来在有机发光二极管显示器的基底上形成这样的有机薄膜、金属薄膜等。通常，真空沉积法被用来形成有机薄膜、金属薄膜等。在包括沉积源的沉积装置中，沉积材料被插入到坩埚中，并被加热以将沉积材料沉积在基底上，从而形成薄膜。

在此背景技术部分公开的上述信息仅用于增强对本发明背景的理解，因此其可能包含不构成现有技术的信息。

发明内容

本发明的一个方面提供了能加工大致平行的多个基底并最小化例如基底和沉积掩模的对准的加工待命时间和对准时间以实现高生产率的沉积装置、以及包括该沉积装置的沉积系统。

另外，本发明的另一方面提供了使用沉积装置和沉积系统的有机发光二极管显示器的制造方法。

根据示例性实施例的沉积装置包括：沉积室；多个基底支架，包括被配置为将基底维持在沉积室中的第一基底位置的第一支架和被配置为将另一基底维持在沉积室中的第二基底位置的第二支架；沉积源，被设置在沉积室中，并被配置为供应沉积材料以涂覆到放置在第一和第二基底位置的基底上；沉积源传送机构，被配置为在第一方向上移动沉积源以与第一和第二基底中的一个相对；基底传送机构，被配置为在第二方向上将基底传送到第一基底位置或者从第一基底位置传送，并进一步被配置为在第二方向上将另一基底传送到第二基底位置或者从第二基底位置传送。

沉积室可进一步包括被配置为将至少一个沉积掩模传送到被设置在第一基底位置和第一源位置之间的第一掩模位置和被设置在第二基底位置和第二源位置之间的第二掩模位置的掩模传送机构。

沉积室可进一步包括被附着到沉积室并被配置为储存至少一个沉积掩模的掩模储存室，掩模储存室与掩模传送机构相连。

掩模传送机构可被提供在沉积室的沿第一方向的一侧端中，并被配置为在掩模储存室和沉积室之间沿第一方向移动掩模。

沉积室可进一步包括与掩模储存室和沉积室相连并清洁沉积掩模的掩模清洁室。

掩模清洁室可以被提供在沉积室和掩模储存室之间。

沉积室可进一步包括被配置为将各基底和沉积掩模对齐的对准装置。

掩模传送机构可包括在第一方向上延伸的一对导轨，沉积掩模包括形成有遮挡部分和开口的掩模主体和通过固定掩模主体由导轨支撑的框架，沉积掩模的框架可以进一步包括围绕导轨的保护板。