[发明专利]一种用于光刻机的嵌入式远程通信及控制方法

权利要求书

1.一种用于光刻机的嵌入式远程通信及控制方法，其特征在于：包括客户端（101）和服务器端（102），两者通过互联网TCP/IP协议（103）连接；）所述的服务器端（102）包括：Tomcat服务器（110），第二远程控制模块（112）；所述的Tomcat服务器（110）监听计算机端口80（109），通过HTTP协议对外提供网页、视频资源和上传文件服务；所述的第二远程控制模块（112）监听计算机端口8080（111），通过socket与客户端建立连接，接收客户端（101）提供的信息，发送光刻机控制指令到客户端（101）；所述的客户端（101）包括ARM母板（104）和单片机运动控制板（105）；所述的ARM母板（104）由网络模块（106），第一远程控制模块（107），RS232接口（108）完成通信；所述的单片机运动控制板（105）由RS232接口（108）完成与ARM母板（104）的通信。 

2.根据权利要求1所述用于光刻机的嵌入式远程通信及控制方法，其特征在于所述客户端（101）包括ARM母板（104）和单片机运动控制板（105），ARM母板（104）通过RS232接口（108）与单片机运动控制板（105）通信；ARM母板（104）具有网络模块（106），能够通过Wi-Fi或者DM9000A网络芯片和HR911105网络接口实现与因特网的连接，从而访问服务器端（102）。 

3.根据权利要求1所述用于光刻机的嵌入式远程通信及控制方法，其特征在于所述第一远程控制模块（107），具有： 

a）用来控制整个系统工作的控制面板（202），实现上升，复位，微调，曝光的功能； 

b）用来显示摄像头采集的图像信息反馈框（201）和拍照按钮； 

c）曝光时间显示框（203）和定时曝光按钮； 

d）步数查询按钮和显示框（204）； 

e）实现远程通信的菜单按钮（205）。 

4.根据权利要求1所述的用于光刻机的嵌入式远程通信及控制方法，其特征在于实现远程通信的菜单按钮（205）用于进行下列操作： 

a）下载新资讯（301），点击访问服务端（102）部署在Tomcat服务器（110）上的视频资源，并下载到本地观看； 

b）远程控制（302），点击进入到远程控制界面，按开始按钮（309）向服务端（102）的第一远程控制模块（107）发送连接请求，得到允许后建立连接开始远程调试； 

c）上传文件（303），点击进入到文件上传界面，用户可以通过此界面上传图像、视频、 文档文件到服务端（102）的Tomcat服务器（110），以便专业人员根据这些信息做出进一步的诊断和调试； 

d）显示文档说明，点击进入文档显示界面，用户通过文档了解光刻机的使用步骤和光刻机相关知识； 

e）访问主页，点击进入设备提供商主页，了解最新动态。 

5.根据权利要求1和权利要求3所述用于光刻机的嵌入式远程通信及控制方法，其特征在于ARM母板（104）运行的是Android4.0操作系统。 

6.根据权利要求1所述用于光刻机的嵌入式远程通信及控制方法，其特征在于所述服务器端（102）包括： 

a）Tomcat服务器（110），对外提供资源；采用Servlet+JSP技术，分别实现网页资讯，最新视频资讯，视频资源下载，文件上传服务； 

b）第二远程控制模块（112）通过socket方式，监听8080端口（111），与第一远程控制模块（107）建立连接；其历史记录框（401）记录来访客户记录，显示来访时间和IP地址；客户IP栏（402）显示客户的IP地址；端口栏（403）显示客户所用端口号；发送指令栏（404）录入专业人员需要发送出去的控制指令；发送按钮（405）实现发送功能。