[发明专利]一种用于光刻机的嵌入式远程通信及控制方法

说明书

技术领域

本发明是涉及接近接触式光刻系统中的通信及控制方法，特别是涉及物联网远程通信及控制领域，属于计算机网络通信和嵌入式控制领域。

背景技术

（1）传统光刻机的控制系统是基于机械式控制面板的，整个操作几乎没有人机互动，没有形象具体的提示；由于机械按钮易老化，长期使用会导致误触发。初次使用的户都需要阅读冗长的说明书，得不到形象直观的指导；当软件出错或者用户遇到使用困难时，开发人员往往需要前往使用地进行调试和指导；而且在很大程度上限制了摄像头的使用；

（2）使用PC机对光刻机进行控制，用户只能使用鼠标和键盘来进行控制，无法使用更加方便有效的方法来进行操作；对于普通的光刻机，PC机的功能往往得不到最充分的使用，从而造成资源的极大浪费；而且作为PC机而言，相比嵌入式设备，其价格要高出许多；PC机功耗大，在实际的使用过程中需要风扇降温，引入了振动的问题；加上PC机体积较大，大量占用了有限的空间资源。

（3）传统光刻机销售出去后与开发机构的联系几乎就断了，只能通过专业人员前往遥远的光刻机所在地进行机器的维修调试工作。与当前越来越普及的互联网和物联网联系不大，资讯更新慢，操作人员得不到最新信息。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种用于光刻机的嵌入式远程通信及控制方法。通过软硬件的协调合作，实现了良好的人机互动界面，充分利用互联网物联网带来的便利，可以进行实时远程开发和指导，操作人性化。这种设备稳定性好，体积小巧，功耗低，可扩展性强，而且开发成本低廉，运行速度快，具有很强的实时性，使用起来更加人性化和方便。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案如下：该方案包括客户端和服务器端，两者通过互联网TCP/IP协议连接；所述的服务器端包括：Tomcat服务器，第二远程控制模块；所述的Tomcat服务器监听计算机端口80，通过HTTP协议对外提供网页、视频资源和上传文件服务；所述的第二远程控制模块监听计算机端口8080，通过socket与客户端建立连接，接收客户端提供的信息，发送光刻机控制指令到客户端；所述的客户端包括ARM母板和单片机运动控制板；所述的ARM母板主要由网络模块，第一远程控制模块，RS232接口完成通信；所述的单片机运动控制板由RS232接口完成与ARM母板的通信。

其中，客户端包括ARM母板和单片机运动控制板，ARM母板通过RS232接口与单片机运动控制板通信；ARM母板具有网络模块，能够通过Wi-Fi或者DM9000A网络芯片和HR911105网络接口实现与因特网的连接，从而访问服务器端；

其中，第一远程控制模块，如图2所示，包括：

a）用来控制整个系统工作的控制面板，实现上升，复位，微调，曝光的功能；

b）用来显示摄像头采集的图像信息反馈框和拍照按钮；

c）曝光时间显示框和定时曝光按钮；

d）步数查询按钮和显示框；

e）实现远程通信的菜单按钮。

其中，实现远程通信的菜单按钮可以更多服务，如图3所示，包括：

a）下载新资讯，点击访问服务端部署在Tomcat服务器上的视频资源，并可以下载到本地观看；

b）远程控制，点击进入到远程控制界面，按开始按钮向服务端的第一远程控制模块发送连接请求，得到允许后建立连接开始远程调试；

c）上传文件，点击进入到文件上传界面，用户可以通过此界面上传图像、视频、文档等文件到服务端的Tomcat服务器，以便专业人员根据这些信息做出更好的诊断和调试；

d）文档说明，点击进入文档显示界面，用户通过文档了解光刻机的使用步骤，维护等光刻机相关知识；

e）访问主页，点击进入设备提供商主页，了解最新动态。

其中，ARM母板运行的是Android4.0操作系统；

其中，服务器端包括：

a）Tomcat服务器上部署Web应用对外提供资源；采用Servlet+JSP技术，分别实现网页资讯，最新视频资讯，视频资源下载，文件上传等服务；

b）第二远程控制模块，通过socket方式，监听8080端口，与第一远程控制模块建立连接；其界面如图2所示，历史记录框记录来访客户记录，显示来访时间和IP地址；客户IP栏显示客户的IP地址；端口栏显示客户所用端口号；发送指令栏录入专业人员需要发送出去的控制指令；发送按钮实现发送功能；

本发明具有的有益效果是：