[发明专利]抗蚀剂剥离剂组合物

权利要求书

1.一种抗蚀剂剥离剂组合物，包括：1重量％至10重量％的有机氢氧化季铵；40重量％至80重量％的二甲亚砜；1重量％至25重量％的基于乙二醇醚的有机溶剂；1重量％至25重量％的由用于溶解抗蚀剂中的染料的具有1个至20个碳原子的烷基胺组成的基于胺的化合物；0.001重量％至1重量％的无机碱或其盐；和余量的水。

2.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离剂组合物，其中，所述有机氢氧化季铵选自四甲基氢氧化铵(TMAH)、四乙基氢氧化铵(TEAH)、四丙基氢氧化铵(TPAH)和四丁基氢氧化铵(TBAH)中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离剂组合物，其中，所述基于乙二醇醚的有机溶剂选自乙二醇单甲醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、乙二醇单乙醚、三乙二醇单乙醚、三乙二醇单甲醚、二乙二醇甲基乙醚、二丙二醇单甲醚、三丙二醇单甲醚和丙二醇单甲醚中的至少一种。

4.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离剂组合物，其中，所述具有1个至20个碳原子的烷基胺选自甲胺、乙胺、异丙胺、单异丙胺、二乙胺、二异丙胺、二丁胺、三甲胺、三乙胺、三异丙胺、三丁胺、乙二胺、丙二胺、1,3-丙二胺、1,2-丙二胺、二乙烯三胺和二己烯三胺中的至少一种。

5.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离剂组合物，其中，所述无机碱或其盐选自氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、硝酸钠、硝酸钾、硫酸钠、硫酸钾、硅酸钠和硅酸钾中的至少一种。

6.根据权利要求1或5所述的抗蚀剂剥离剂组合物，其中，所述抗蚀剂为滤色器抗蚀剂和有机绝缘膜抗蚀剂中的至少一种。