[发明专利]抗蚀剂剥离剂组合物

说明书

本发明公开了一种抗蚀剂剥离剂组合物，包括：1重量%至10重量%的有机氢氧化季铵；40重量%至80重量%的二甲亚砜；1重量%至25重量%的基于乙二醇醚的有机溶剂；1重量%至25重量%的具有1个至20个碳原子的烷基胺；0.001重量%至1重量%的无机碱或其盐；和余量的水。根据具有上述构成的抗蚀剂剥离剂，可以通过溶解从基板去除滤色器抗蚀剂，从而获得极佳的剥离能力，可以使器件中的滤色器堵塞降到最低程度，并且可以剥离负型有机绝缘膜抗蚀剂和正型有机绝缘膜抗蚀剂以及滤色器抗蚀剂，而不损坏底层和各种金属布线。

技术领域

本发明涉及一种抗蚀剂剥离剂组合物。

背景技术

滤色器可安装在具有图像传感器（如，互补式金属氧化物半导体（CMOS）或电荷耦合器件（CCD））的彩色成像器件中且实际用于生成彩色图像。此外，滤色器广泛用于等离子显示板（PDP）、液晶显示器（LCD）、场发射显示器（FEL）、发光器件（LED）等的成像器件的应用中，并且如今快速地扩展了这些应用领域的范围。特别地，随着近年来LCD的使用日益增多，认为滤色器是复制LCD的色调中的最重要的器件之一。

滤色器基板包括：黑色矩阵，该黑色矩阵起到屏蔽红色（R）图案、绿色（G）图案和蓝色（B）图案与每个像素之间的漏光的作用，同时提高它们之间的对比度；和对液晶盒施加电压的公共电极。

根据滤色器的用途，滤色器可通过下述方法来制造：将黑色矩阵材料涂覆到玻璃基板、形成黑色掩模图案、以及在光刻工艺期间形成彩色抗蚀剂图案。

在制造如上文所述的滤色器期间，不可避免地会出现差的彩色抗蚀剂图案。一旦彩色抗蚀剂固化，基本上不可以从彩色抗蚀剂中去除缺陷部分以及修复该缺陷部分。此外，由于几乎不存在去除彩色抗蚀剂的溶剂，故差的滤色器大多数被丢弃，从而降低了生产率。

为了解决前述问题，已开发出用于去除已固化的彩色抗蚀剂的组合物。

抗蚀剂主要分为正型抗蚀剂和负型抗蚀剂。与易于通过基于有机溶剂的剥离剂在40℃至50℃的温度下在1分钟内去除的正型抗蚀剂不同，彩色抗蚀剂具有负型抗蚀剂的特征，该负型抗蚀剂具有高的固化度，且通过热处理变硬，从而几乎不能被剥离和去除。因此，在高于70℃的温度下去除彩色抗蚀剂至少需要5分钟，所以仍需要更加改进的剥离性能。

第2009-75516号韩国专利公开申请公开了一种用于TFT（薄膜晶体管）LCD的彩色抗蚀剂剥离溶液组合物，然而，该组合物不具有极佳的剥离能力和长期维持剥离能力的效果。

发明内容

因此，本发明的目的是提供一种具有优异的剥离固化的滤色器抗蚀剂的能力的抗蚀剂剥离溶液。

本发明的另一个目的是提供这样一种抗蚀剂剥离溶液，该抗蚀剂剥离溶液能够剥离负型有机绝缘膜抗蚀剂和正型有机绝缘膜抗蚀剂以及滤色器抗蚀剂，而不损坏底层和各种金属布线。

将通过下列特征实现本发明的以上目的：

（1）一种抗蚀剂剥离剂组合物，包括：1重量%至10重量%的有机氢氧化季铵；40重量%至80重量%的二甲亚砜；1重量%至25重量%的基于乙二醇醚的有机溶剂；1重量%至25重量%的具有1个至20个碳原子的烷基胺；0.001重量%至1重量%的无机碱或其盐；和余量的水。

（2）根据上文（1）的抗蚀剂剥离剂组合物，其中，所述有机氢氧化季铵选自四甲基氢氧化铵（TMAH）、四乙基氢氧化铵（TEAH）、四丙基氢氧化铵（TPAH）和四丁基氢氧化铵（TBAH）中的至少一种。

（3）根据上文（1）的抗蚀剂剥离剂组合物，其中，所述基于乙二醇醚的有机溶剂选自乙二醇单甲醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、乙二醇单乙醚、三乙二醇单乙醚、三乙二醇单甲醚、二乙二醇甲基乙醚、二丙二醇单甲醚、三丙二醇单甲醚和丙二醇单甲醚中的至少一种。