[发明专利]感光性聚硅氧烷组合物、保护膜及具有保护膜的元件

权利要求书

1.一种感光性聚硅氧烷组合物，其特征在于，其包括：

含氮的杂环化合物(A)；

聚硅氧烷(B)；

邻萘醌二叠氮磺酸酯(C)；以及

溶剂(D)，

其中所述含氮的杂环化合物(A)选自由式(1)至式(4)所表示的化合物所组成的族群，

式(1)至式(4)中，X1与X2各自独立表示氢原子、酰基或烷基；R1至R9各自独立表示氢原子、羟基、羧酸基、磺酸基、烷基、氨基、卤素原子或巯基；m、n、q、s各自独立表示选自0、1、2、3的整数；p、r各自独立表示选自0、1、2的整数；t、u各自独立表示选自0、1、2、3、4的整数。

2.如权利要求1所述的感光性聚硅氧烷组合物，其中所述聚硅氧烷(B)是由式(5)所示的化合物聚合来形成，

Si(R¹⁰)W(OR¹¹)_4-W

式(5)

式(5)中，R¹⁰表示氢原子、碳数为1至10的烷基、碳数为2至10的烯基、碳数为6至15的芳香基、含有酸酐基的烷基、含有环氧基的烷基或含有环氧基的烷氧基；R¹¹各自独立表示氢原子、碳数为1至6的烷基、碳数为1至6的酰基或碳数为6至15的芳香基；w表示选自0、1、2、3的整数。

3.如权利要求1所述的感光性聚硅氧烷组合物，其中基于所述聚硅氧烷(B)100重量份，所述含氮的杂环化合物(A)的含量是0.005重量份至5重量份，所述邻萘醌二叠氮磺酸酯(C)的含量是1重量份至50重量份，所述溶剂(D)的含量是50重量份至1200重量份。

4.一种保护膜，其特征在于，其包括如权利要求1至3中任一项所述的感光性聚硅氧烷组合物。

5.一种具有保护膜的元件，其特征在于，其包括元件以及如权利要求4所述的保护膜，其中所述保护膜覆盖在所述元件上。