[发明专利]图像处理方法、装置和自动光学检测机

说明书

技术领域

本发明涉及自动光学测量技术领域，具体地说，涉及一种图像处理方法、装置和自动光学检测机。

背景技术

薄膜晶体管液晶显示屏TFT-LCD（Thin Film Transistor Liquid Crystal Display）正朝着大尺寸、高分辨率的方向发展，并且消费者对显示屏的视觉感受的要求也越来越高。通常采用自动光学检测AOI（Automated Optical Inspection）设备监控TFT-LCD产品品质。但是，在AOI设备运行过程中通常会出现震动，导致相机拍摄图像的清晰度降低，以至于影响检测结果。

图1为现有技术中彩色滤光片的RGB子像素分布示意图。黑色矩阵BM（Black Matrix）12排列设置在基板11上，红色子像素13a，绿色子像素13b，蓝色子像素13c间隔设置在黑色矩阵12之间。通常黑色矩阵的宽度D作为线宽CD（Critical Demention）。在TFT-LCD制程中，RGB子像素与黑色矩阵12产生交叠，形成重叠区域（overlay）14。

在生产过程中采用AOI设备测量TFT-LCD产品的线宽CD（Critical Demention）和重叠区域（overlay）宽度来检测产品质量。通常AOI设备在运行中会出现震动，引起扫描图像清晰度降低，例如线宽和重叠区域模糊，边缘不清晰，导致测量结果不准确甚至误判。图2所示为震动造成扫描图像中重叠区域模糊的示意图。如图2所示，测量所得重叠区域宽度L2比正常的重叠区域宽度L1小。

目前，降低AOI设备震动的方法是在机台下方的地板做防震处理，或者将机台基板承载体的滚压装置改造为平台，进一步，还可在平台底座加入气浮功能，从而减少环境震动引起的基板震动。

基于上述情况，亟需一种改进的AOI图像处理方法解决设备震动引起的扫描图像清晰度降低的技术问题。

发明内容

本发明针对现有技术中存在的上述问题，提供了一种图像处理方法，用于自动光学检测过程中，包括：

检测区域确定步骤，确定检测图像中的矩形检测区域；

清晰度阈值确定步骤，根据多个样本图像在所述检测区域内的每个像素点的灰度值，计算图像清晰度阈值；

产品图像清晰度确定步骤，根据产品图像在所述检测区域内的每个像素点的灰度值，计算产品图像清晰度；

比较步骤，比较产品图像清晰度与所述图像清晰度阈值；当产品图像清晰度大于所述图像清晰度阈值时，执行产品图像选定步骤；当产品图像清晰度小于所述图像清晰度阈值时，执行所述产品图像清晰度确定步骤；

产品图像选定步骤，选定当前产品图像为待检测图像。

根据本发明的一个实施例，所述清晰度阈值确定步骤包括：

样本扫描步骤，对同一检测样本进行多次扫描获得与标准片匹配的多个样本图像；

阈值计算步骤，分别获取多个样本图像在所述检测区域内的每个像素点的灰度值，计算图像清晰度阈值。

根据本发明的一个实施例，所述产品图像清晰度确定步骤包括：

产品扫描步骤，扫描产品获得产品图像；

图像清晰度计算步骤，获取产品图像中所述检测区域内的每个像素点的灰度值，计算产品图像清晰度。

根据本发明的一个实施例，所述阈值计算步骤包括：

获取每一样本图像在所述检测区域内像素点的灰度值；

分别计算每一样本图像中所述检测区域内每一行相邻像素点灰度值的差值的绝对值，选取绝对值的最大值为样本图像行灰度差值；选取样本图像行灰度差值的最大值为当前样本图像的样本清晰度；

选取全部样本清晰度的最小值为所述图像清晰度阈值。

根据本发明的一个实施例，所述图像清晰度计算步骤包括：

获取产品图像在所述检测区域内像素点的灰度值；

分别计算产品图像中所述检测区域内每一行相邻像素点灰度值的差值的绝对值，选取绝对值的最大值为产品图像行灰度差值；选取产品图像行灰度差值的最大值为产品图像清晰度。

根据本发明的另一个方面，提供一种图像处理装置，用于自动光学检测机中，包括：

检测区域确定单元，用于确定检测图像中矩形检测区域；

清晰度阈值确定单元，用于根据多个样本图像在所述检测区域内的每个像素点的灰度值，计算图像清晰度阈值；

产品图像清晰度确定单元，用于根据产品图像在所述检测区域内的每个像素点的灰度值，计算产品图像清晰度；