[发明专利]玻璃封装体的密封装置

权利要求书

1.一种玻璃封装体的密封装置，所述玻璃封装体包括多个封装单元，其特征在于，包括：

光源，用于提供封装光束；

振镜，实现所述封装光束沿封装单元封装线进行扫描运动；

远心场镜，用于将所述振镜的倾斜出射的封装光束转为垂直封装光束入射到所述封装单元的封装线上；

龙门架，具有第一方向和第二方向自由度，用于承载所述振镜和远心场镜沿第一方向和第二方向运动，其中第一方向垂直于第二方向；以及

工件台，用于承载所述玻璃封装体。

2.如权利要求1所述的玻璃封装体的密封装置，其特征在于，还包括控制系统，用于控制所述光源、振镜、龙门架、远心场镜以及工件台动作。

3.如权利要求2所述的玻璃封装体的密封装置，其特征在于，还包括温度传感器，用于测量封装时通过玻璃封装体反射的光束的温度，并反馈至控制系统。

4.如权利要求1所述的玻璃封装体的密封装置，其特征在于，还包括直线运动机构，驱动所述龙门架带动振镜及远心场镜沿第一方向和第二方向运动，以及驱动所述工件台沿第二方向运动。

5.如权利要求1所述的玻璃封装体的密封装置，其特征在于，所述龙门架上设有供所述振镜和远心场镜沿第一方向运动的第一滑道，和沿第二方向运动的第二滑道。

6.如权利要求1所述的玻璃封装体的密封装置，其特征在于，所述工件台上设置有用于调节玻璃封装体位置和姿态的微动机构。

7.如权利要求1所述的玻璃封装体的密封装置，其特征在于，所述振镜包括：反射镜和扫描电机，所述反射镜将光源发出的光束反射到所述远心场镜上，所述扫描电机驱动所述反射镜使得所述封装光束沿封装单元封装线扫描。

8.如权利要求1所述的玻璃封装体的密封装置，其特征在于，还包括对准CCD用于测量所述振镜与所述工件台的对准信息。

9.如权利要求1所述的玻璃封装体的密封装置，其特征在于，所述振镜为一个，所述远心场镜也设置有一个，执行封装作业时，驱动所述振镜使所述封装光束沿一个封装单元的封装线扫描，待该封装单元完成封装后，驱动所述龙门架带动所述振镜、远心场镜沿第一方向及/或第二方向运动，以实现对下一个封装单元执行封装作业。

10.如权利要求1所述的玻璃封装体的密封装置，其特征在于，所述振镜为多个，所述远心场镜亦为多个，执行封装作业时，多个振镜使多束封装光束沿一个封装单元的封装线的不同部分扫描，待该封装单元完成封装后，驱动所述龙门架带动所述多个振镜、多个远心场镜沿第一方向及/或第二方向运动，以实现对下一个封装单元执行封装作业。

11.如权利要求1所述的玻璃封装体的密封装置，其特征在于，所述振镜为多个，所述远心场镜亦为多个，执行封装作业时，多个振镜使多束封装光束沿多个封装单元的封装线扫描，待多个封装单元完成封装后，驱动所述龙门架带动所述振镜、远心场镜沿第一方向及/或第二方向移动，以实现对下一批次的多个封装单元执行封装作业。

12.如权利要求1所述的玻璃封装体的密封装置，其特征在于，还包括底座，用于承载所述龙门架及工件台。

13.如权利要求12所述的玻璃封装体的密封装置，其特征在于，所述底座还包括减震单元。

14.如权利要求12所述的玻璃封装体的密封装置，其特征在于，所述底座还设置有第三滑道，供所述工件台沿第二方向运动使得所述玻璃封装体在封装位及交换位之间运动。