[发明专利]玻璃封装体的密封装置

说明书

技术领域

本发明涉及集成电路制造领域，特别涉及一种玻璃封装体的密封装置。

背景技术

平板显示器（Flat Panel Display）自20世纪90年代开始迅速发展，并逐步走向成熟，广泛应用于家用电器、电脑和通讯产品中。平板显示器分为主动发光和被动发光两类。前者指显示媒质本身发光而提供可见辐射的显示器件，包括等离子显示器（PDP）、真空荧光显示器（VFD）、场发射显示器（FED）、电致发光显示器（LED）和有机发光二极管显示器（OLED）；后者指本身不发光，而是利用显示媒质被电信号调制后，其光学特性发生变化，对环境光和外加电源（背光源、投影光源）发出的光进行调制，在显示屏或银幕上进行显示的器件，包括液晶显示器（LCD）、微机电系统显示器（DMD）和电子油墨（EL）显示器。从产值而言，目前以LCD、PDP、OLED为平板显示的三大支柱，其中LCD和PDP相对成熟，而OLED作为下一代显示技术，在色域、视角、能耗、外形轻薄、响应速度等主要指标方面相较于LCD和PDP都有明显优势。另外，OLED还具有可制成柔性显示器件的特殊性质，因而OLED显示器件未来的发展前景非常广阔。

然而，由于材料和工艺原因，OLED器件还存在工作寿命较短的问题，这对OLED技术的产业化进程和应用造成了较大的阻碍。除了早期有机发光材料本身寿命不够理想外，更重要的原因在于有机发光材料对氧气和水汽的高度敏感，水汽和氧气的渗入，会造成OLED器件内阴极氧化、脱膜、有机层结晶效应，致使器件提前老化乃至损坏，出现常见的有黑点、像素收缩和光强衰减等现象。按照商用化产品的要求，OLED器件至少达到工作寿命10000小时和存储寿命50000小时，水汽渗透率（WVTR）小于10^-6g/m²/day，氧气渗透率（OTR）小于10^-5cc/bar/m²/day，对于水氧的渗透率要求明显高于LCD。

目前，应用于OLED器件封装的主要技术有UV胶封盖式密封和薄膜密封两种。由于前者需使用大分子的环氧树脂材料，材料内存在许多微细孔，无法完全阻止环境中的水汽和氧气渗入，所以利用该种技术封装的器件寿命还不够理想；进一步的改进措施是在密封体内预置干燥材料，来提高产品寿命，这样就带来工艺环节、成本及设备购置等问题，并且其寿命提高程度有限。而薄膜封装采用多种无机或有机薄膜淀积在OLED有机发光材料上形成水汽和氧气的隔离层，但相关材料的实际表现还远远不及传统的UV胶盖式密封加干燥剂的方法，所以还需要较长时间的封装材料研发和改进。

事实上，低熔点玻璃粉作为一种先进的焊接材料，具有较低的熔化温度和封接温度，良好的耐热性和化学稳定性，很高的机械强度，可实现玻璃、陶瓷、金属、半导体间的相互封接，因而被广泛应用于真空和微电子技术、激光和红外技术、高能物理、能源、宇航、汽车等众多领域。美国提出一种利用激光辐射源照射熔融材料的方法应用于OLED器件的玻璃密封，采用激光封装的好处在于局部非接触式加热，对OLED等温度敏感器件热影响区域小；由于是同质封装，可获得一致和密实的封装强度，很好地隔绝水汽和氧气，达到比UV胶盖式封装性能更好、寿命更久的效果；另外，封装线的宽度和厚度可以很小，对器件的轻薄和宽视域有明显好处。

还存在一种用振镜控制激光束旋转扫描的方案，但旋转扫描方案的缺点在于激光束是倾斜入射，对于尺寸越大的单元，倾斜角度会越大，难以保证光斑的定位精度，另外激光束倾斜入射会在玻璃封装体表面和工件台表面因为漫反射形成许多不可控的多余光束，影响封装。

发明内容

本发明提供一种玻璃封装体的密封装置，以解决现有技术中激光束倾斜入射，难以保证光斑的定位精度的问题。

为解决上述技术问题，本发明一种玻璃封装体的密封装置，包括：光源，用于提供装置所需的光束；振镜，用于实现光束沿封装单元的封装线进行扫描运动；远心场镜，用于将振镜中的倾斜入射光转为垂直光束入射到玻璃封装体上；龙门架，具有第一方向和第二方向运动自由度，用于承载所述振镜和远心场镜沿第一方向和第二方向运动；工件台，具有第二方向自由度，用于装卸和承载玻璃封装体。

底座，用于承载所述龙门架及工件台；以及控制系统，用于控制所述光源、振镜、远心场镜、龙门架以及工件台动作。

作为优选，所述底座上还设置有直线运动机构，所述直线运动机构驱动所述工件台实现第二方向运动。