[发明专利]晶硅片切割砂浆的固含量检测方法

权利要求书

1.一种晶硅片切割砂浆的固含量检测方法，其特征在于，包括下列步骤：

（1）搅拌分散：将待回收处理的晶硅片切割砂浆搅拌0.5～2小时，得到搅拌分散均匀的砂浆，在砂浆中心位置取样并称重，该试样的质量记为M1；

（2）抽滤：将步骤（1）所取砂浆试样经抽滤器依次选用孔径为Ф10μm、Ф5μm和Ф1μm的滤膜进行三次抽滤，使该砂浆中的细小固体颗粒被滤膜滤出，收集各次所得的滤上料；

（3）干燥：采用真空干燥或惰性气体条件下干燥的方式，将步骤（2）所得的滤上料进行干燥处理，得到的砂浆固体质量记为M2；

（4）计算：根据公式Ｍ＝                                                ×100%，计算得出晶硅片切割砂浆的固含量Ｍ。

2.根据权利要求1所述的晶硅片切割砂浆的固含量检测方法，其特征在于，步骤（3）所述真空干燥的方法为：在真空度小于0.09MPa、温度为50～200℃的条件下干燥1～3小时，使所得滤上料达到恒重，得到的砂浆固体质量记为M2。

3.根据权利要求2所述的晶硅片切割砂浆的固含量检测方法，其特征在于，所述真空干燥过程在DZF-6050型真空干燥箱中进行。

4.根据权利要求1所述的晶硅片切割砂浆的固含量检测方法，其特征在于，步骤（3）所述在惰性气体条件下干燥的方法为：在标准大气压、温度为100～200℃的惰性气体条件下干燥1～3小时，使所得滤上料达到恒重，得到的砂浆固体质量记为M2。

5.根据权利要求4所述的晶硅片切割砂浆的固含量检测方法，其特征在于，所述干燥过程在惰性气体闭路循环干燥系统中进行。