[发明专利]多晶硅铸锭后熔融石英坩埚碎片再生方法

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭后熔融石英坩埚碎片再生方法，其特征在于，依次包括如下步骤：

a）对多晶硅铸锭后熔融石英坩埚碎片进行清洗分拣；

b）对所述石英坩埚碎片进行非晶化处理；

c）对所述石英坩埚碎片进行湿式粉碎；

d）对粉碎后的石英坩埚碎片进行制浆，采用等静压方式成型；

e）进行晾干及烧结处理。

2.如权利要求1所述的多晶硅铸锭后熔融石英坩埚碎片再生方法，其特征在于，所述步骤a）中采用超声波并且使用弱酸溶液进行清洗，所述弱酸溶液按盐酸和水1:100的体积比稀释，所述弱酸溶液温度为60℃，清洗时间为4～6小时。

3.如权利要求1所述的多晶硅铸锭后熔融石英坩埚碎片再生方法，其特征在于，所述步骤a）中采用超声波并且使用弱酸溶液进行清洗，所述弱酸溶液按盐酸和氢氟酸按照1:1.5的体积比配置，所述清洗时间为1～10小时。

4.如权利要求1所述的多晶硅铸锭后熔融石英坩埚碎片再生方法，其特征在于，所述步骤b）中非晶化处理过程如下：对于析晶量较少的坩埚碎片粗碎后，在1700～1800℃下熔融2～4小时后进行快速冷却；对于析晶量较多的坩埚碎片细碎至粒度100μm以内后采用过筛的方式除去部分方石英晶体。

5.如权利要求1所述的多晶硅铸锭后熔融石英坩埚碎片再生方法，其特征在于，所述步骤c）中在进行湿式粉碎时按重量百分比加入0.5～1%的去离子水，并将石英坩埚碎片粉碎至1～50um。

6.如权利要求5所述的多晶硅铸锭后熔融石英坩埚碎片再生方法，其特征在于，所述步骤c）采用管式粉碎机进行湿式粉碎，粉碎后浆料颗粒按重量百分比组成如下：粒度为1～10μm占20%，粒度为10～30μm占60%，剩余粒度为30～50μm占20%。

7.如权利要求1所述的多晶硅铸锭后熔融石英坩埚碎片再生方法，其特征在于，所述步骤d）中在制浆过程中按重量百分比加入：0.2%丙烯酰胺作为有机单体，0.1%双丙烯酰胺作交联剂，0.5%亚硫酸铵作为催化剂，0.5%过硫酸铵作为引发剂。

8.如权利要求1所述的多晶硅铸锭后熔融石英坩埚碎片再生方法，其特征在于，所述步骤d）按重量百分比加入0.5～2%的硼酸、磷酸或氮化硅抑制方石英晶粒的生长，控制方石英的重量百分含量至2%以下。

9.如权利要求1所述的多晶硅铸锭后熔融石英坩埚碎片再生方法，其特征在于，所述步骤d）采用冷等静压机进行快速加压成型，最高压力为110MPa，成型温度为40℃，采用缓慢泄压的方式进行脱模，泄压时长为20小时。

10.如权利要求1所述的多晶硅铸锭后熔融石英坩埚碎片再生方法，其特征在于，所述步骤e）中晾干过程如下：在温度60℃，湿度50%的室内自然晾干1～2小时；所述步骤e）中烧结为常压烧结，最高烧结温度为1200℃，在900℃以下升温速率较缓，在高温900～1200℃之间采用快速升温烧结的办法，烧结时采用氮气或者氩气进行保护。