[发明专利]保护膜检测装置

权利要求书

1.一种保护膜检测装置，其对在被加工物的表面是否覆盖有保护膜进行检测，所述保护膜检测装置具备：

保持工作台，其保持在表面覆盖有该保护膜的被加工物；

水蒸气喷射构件，其向在该保持工作台上保持的被加工物的该表面喷射水蒸气；

摄像构件，其对利用该水蒸气喷射构件喷射过水蒸气的该被加工物的整个该表面进行摄像；

检测构件，其根据由该摄像构件拍摄到的该表面的图像信息，通过图像处理基于覆盖区域与非覆盖区域的光的强度差，来检测该非覆盖区域，所述覆盖区域是覆盖有保护膜的区域，在所述非覆盖区域由于未覆盖该保护膜而有水蒸气附着，因而形成水滴的凹凸，产生光的散射；以及

报知构件，其在由该检测构件检测到了该非覆盖区域的情况下，报知这一信息。

2.根据权利要求1所述的保护膜检测装置，其中，

所述摄像构件为线传感器，所述线传感器具有长度与被加工物的外径相等的测量视野，

所述水蒸气喷射构件具备喷射孔，所述喷射孔具有长度与该被加工物的外径相等的喷射区域，

该摄像构件和该水蒸气喷射构件在保持工作台的移动方向上并列地配设，

保持有被加工物的该保持工作台依次通过该水蒸气喷射构件和该摄像构件的下方，由此，在向该被加工物的整个该表面喷射水蒸气之后，立即进行被加工物的整个该表面的摄像。