[发明专利]剥离光阻用组成物及其使用方法

权利要求书

1.一种剥离光阻用组成物，其特征在于包含：

胺系化合物，包括至少一种由下列群组所组成的叔胺系化合物：式(I)所示的氮杂环化合物及具有至少两个叔胺的链状多胺化合物；

于式(I)中，A及B分别表示或条件是A及B中至少一者表示其中，该R表示未经取代的C₁至C₄的烷基，或经取代的C₁至C₄的烷基；

醇系化合物，包括至少一种由下列群组所组成的第一醇系化合物：糖系化合物及含炔基的醇系化合物；

季铵盐化合物；

有机溶剂；以及

水。

2.根据权利要求1所述的剥离光阻用组成物，其特征在于，该经取代的C₁至C₄的烷基选自经羟基取代的C₁至C₄的烷基、经氨基取代的C₁至C₄的烷基，或经氰基取代的C₁至C₄的烷基。

3.根据权利要求1所述的剥离光阻用组成物，其特征在于，该具有至少两个叔胺的链状多胺化合物选自N,N,N',N'-四甲基乙二胺、N,N,N',N'-四甲基丙二胺、双[2-(N,N-二甲基胺基)乙基]醚、N,N,N',N'',N''-五甲基二亚乙基三胺、N,N,N',N'-四甲基己二胺，或它们的组合。

4.根据权利要求1所述的剥离光阻用组成物，其特征在于，基于该胺系化合物的总量为100重量份，该醇系化合物的使用量范围为10至100重量份、该季铵盐化合物的使用量范围为5至100重量份、该有机溶剂的使用量范围为500至4,000重量份，以及该水的使用量范围为100至1,000重量份。

5.根据权利要求1所述的剥离光阻用组成物，其特征在于，该有机溶剂包括第一溶剂；该第一溶剂选自二醇系化合物、醇醚系化合物，或它们的组合。

6.根据权利要求1所述的剥离光阻用组成物，其特征在于，该糖系化合物选自葡萄糖、甘露糖、半乳糖、山梨糖醇、甘露糖醇、木糖醇，或它们的组合。

7.根据权利要求1所述的剥离光阻用组成物，其特征在于，该含炔基的醇系化合物选自3-甲基-1-丁炔基-3-醇、3-甲基-1-戊炔基-3-醇、3,6-二甲基-4-辛炔基-3,6-二醇、2,4,7,9-四甲基-5-癸炔基-4,7-二醇、3,5-二甲基-1-己炔基-3-醇、2-丁炔基-1,4-二醇，或它们的组合。

8.一种使用剥离光阻用组成物的方法，其特征在于包含以下步骤：

提供积层体，包括基板、形成在该基板上的金属层或绝缘层，及形成在该金属层或绝缘层上的光阻层；

将该积层体的光阻层与权利要求1至7中任一项所述的剥离光阻用组成物接触，直至该光阻层自该积层体剥离；

施予清洗处理。

9.根据权利要求8所述的使用剥离光阻用组成物的方法，其特征在于，还包含于清洗处理后，施予干燥处理。