[发明专利]基板搬运装置以及利用该基板搬运装置的基板搬运方法

权利要求书

1.一种基板搬运装置，其特征在于，包括：

支撑部，用于支撑基板；

臂单元，所述支撑部可旋转地结合于所述臂单元；

臂底座，所述臂单元可旋转地结合于所述臂底座；

驱动部，旋转所述臂单元以及所述支撑部以移动所述支撑部；以及

旋转部，旋转所述臂底座，以变更所述支撑部的朝向，

其中，在所述驱动部移动所述支撑部的过程中，所述旋转部朝向所述支撑部的蛇行方向的反方向旋转所述臂底座。

2.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，

包括升降部，所述升降部用于升降所述臂底座，以变更所述支撑部所处的高度，

所述臂底座结合在所述升降部上，

所述升降部结合在所述旋转部上，

所述旋转部朝向所述支撑部的蛇行方向的反方向旋转所述升降部，从而旋转所述臂底座。

3.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，

包括升降部，所述升降部用于升降所述臂底座，以变更所述支撑部所处的高度，

所述旋转部朝向所述支撑部的水平方向上的蛇行方向的反方向旋转所述臂底座，

所述升降部朝向所述支撑部的垂直方向上的蛇行方向的反方向升降所述臂底座。

4.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，

所述驱动部包括驱动单元，所述驱动单元产生驱动力来旋转所述臂单元以及所述支撑部，以便使所述支撑部在位于工艺腔室或储存盒的外部的第一位置与位于所述工艺腔室或所述储存盒的内部的第二位置之间移动，

所述旋转部包括旋转单元，当由所述驱动部在所述第一位置和所述第二位置之间移动所述支撑部的过程中，所述旋转单元产生驱动力以朝向所述支撑部的蛇行方向的反方向旋转所述臂底座。

5.一种基板搬运装置，其特征在于，包括：

支撑部，用于支撑基板；

臂单元，所述支撑部可旋转地结合于所述臂单元；

臂底座，所述臂单元可旋转地结合于所述臂底座；

驱动部，旋转所述臂单元以及所述支撑部以移动所述支撑部；以及

升降部，用于升降所述臂底座，以变更所述支撑部的高度，

在由所述驱动部移动所述支撑部的过程中，所述升降部朝向所述支撑部的垂直方向上的蛇行方向的反方向升降所述臂底座。

6.根据权利要求5所述的基板搬运装置，其特征在于，

所述驱动部包括驱动单元，所述驱动单元产生驱动力来旋转所述臂单元以及所述支撑部，以便使所述支撑部在位于工艺腔室或储存盒的外部的第一位置与位于所述工艺腔室或所述储存盒的内部的第二位置之间移动，

所述升降部包括升降单元，当由所述驱动部在所述第一位置和所述第二位置之间移动所述支撑部的过程中，所述升降单元产生驱动力以朝向所述支撑部的所述垂直方向上的蛇行方向的反方向升降所述臂底座。

7.一种基板搬运装置，其特征在于，包括：

支撑部，用于支撑基板；

臂单元，所述支撑部可旋转地结合于所述臂单元；

臂底座，所述臂单元可旋转地结合于所述臂底座；

驱动部，旋转所述臂单元以及所述支撑部以移动所述支撑部；

旋转部，旋转所述臂底座，以变更所述支撑部的朝向；以及

修正部，在由所述驱动部移动所述支撑部的过程中，所述修正部朝向所述支撑部的垂直方向或水平方向中的至少一个方向上的蛇行方向的反方向移动所述臂底座或所述臂单元。

8.一种基板搬运方法，其特征在于，包括：

使结合有支撑部的臂单元以及所述支撑部进行旋转，以移动所述支撑部的步骤；以及

在移动所述支撑部的过程中，朝向所述支撑部的蛇行方向的反方向移动所述支撑部，以修正所述支撑部的移动的步骤。

9.根据权利要求8所述的基板搬运方法，其特征在于，

修正所述支撑部的移动的步骤包括：在移动所述支撑部的过程中，朝向所述支撑部的水平方向上的蛇行方向的反方向旋转所述支撑部的步骤。

10.根据权利要求8所述的基板搬运方法，其特征在于，

修正所述支撑部的移动的步骤包括：在移动所述支撑部的过程中，朝向所述支撑部的垂直方向上的蛇行方向的反方向升降所述支撑部的步骤。