[发明专利]基板搬运装置以及利用该基板搬运装置的基板搬运方法

说明书

技术领域

本发明涉及在电子部件的制造过程中用于搬运基板的基板搬运装置以及基板搬运方法。

背景技术

显示装置、太阳能电池、半导体元件等（以下称“电子部件”）通过各种工序制造。这种工序中使用用于制造所述电子部件的基板（substrate）。例如，所述制造工序可以包括在基板上沉积导体、半导体、电介质等薄膜的沉积工序以及用沉积后的薄膜形成规定图案的蚀刻工序等。这种制造工序是在进行相关工序的工艺腔室内完成。基板搬运装置用于在所述腔室之间搬运基板。

图1是现有技术涉及的基板搬运装置的俯视图。

参照图1，现有技术涉及的基板搬运装置10包括：臂底座11；第一臂机构12，与所述臂底座11结合；第二臂机构13，与所述第一臂机构12结合；以及支撑部14，与所述第二臂机构13结合。

所述臂底座11通过支撑所述第一臂机构12，从而支撑所述第二臂机构13、所述支撑部14以及被所述支撑部14支撑的基板100。

所述第一臂机构12可旋转地结合在所述臂底座11上。所述第一臂机构12以结合在所述臂底座11上的部位为旋转轴12a旋转。

所述第二臂机构13可旋转地结合在所述第一臂机构12上。所述第二臂机构13以结合在所述第一臂机构12上的部位为旋转轴13a旋转。

所述支撑部14支撑基板100的底面。所述支撑部14可旋转地结合在所述第二臂机构13上。所述支撑部14以结合在所述第二臂机构13上的部位为旋转轴14a旋转。

虽然未图示，所述臂底座11上设有用于移动所述第一臂机构12、所述第二臂机构13以及所述支撑部14的动力源（未图示）。所述第一臂机构12、所述第二臂机构13以及所述支撑部14上分别设有滑轮（未图示）。所述动力源通过传动带（未图示）与所述滑轮连接。由此，当所述动力源以旋转轴12a为中心旋转所述第一臂机构12时，通过这种13联动作用，所述第二臂机构13和所述支撑部14分别以旋转轴13a、14a为中心旋转。由此，现有技术涉及的基板搬运装置10以相互重叠或展开所述第一臂机构12以及所述第二臂机构13的方式移动所述第一臂机构12以及所述第二臂机构13，从而能够移动所述支撑部14，通过这种方式，进行在所述工艺腔室之间搬运所述基板100的工序。

其中，现有技术涉及的基板搬运装置10调节所述第一臂机构12、所述第二臂机构13以及所述支撑部14的旋转方向以及旋转程度，以便所述支撑部14能够沿着直线轨迹20移动。但是，由于分别发生在所述第一臂机构12、所述第二臂机构13以及所述支撑部14上的变形、所述第一臂机构12、所述第二臂机构13以及所述支撑部14各自旋转的速度以及旋转时产生的反作用力、传动带的刚性等各种原因，如图1中的点划线所示，所述支撑部14无法沿着所述直线轨迹20移动，而是进行蛇行（Meandering）。

由此，现有技术涉及的基板搬运装置10存在如下问题。

第一，现有技术涉及的基板搬运装置10，由于所述支撑部14无法沿着所述直线轨迹20移动，而是蛇行，因此所述支撑部14有可能被所述工艺腔室、储存盒等器具撞击。因此，现有技术涉及的基板搬运装置10具有因所述支撑部14以及所述基板100被损坏或破损而导致工艺费用上升的问题。

第二，对于现有技术涉及的基板搬运装置10，曾提出如下方案：通过降低所述第一臂机构12、所述第二臂机构13以及所述支撑部14的旋转速度，以降低所述支撑部14脱离所述直线轨迹20蛇行的程度。但是，根据这种方案，现有技术涉及的基板搬运装置10由于增加搬运基板100所需的时间，导致降低所述电子部件的生产率以及合格率。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出，其目的在于提供一种基板搬运装置以及利用该基板搬运装置的基板搬运方法，其能够降低支撑部脱离直线轨迹蛇行的程度。

本发明的目的在于提供一种基板搬运装置以及利用该基板搬运装置的基板搬运方法，在电子部件制造过程中能够缩短搬运基板所需的时间。

为了解决如上问题，本发明可以包括如下结构。

本发明涉及的基板搬运装置可以包括：支撑部，用于支撑基板；臂单元，所述支撑部可旋转地结合于所述臂单元；臂底座，所述臂单元可旋转地结合于所述臂底座；驱动部，旋转所述臂单元以及所述支撑部以移动所述支撑部；以及旋转部，旋转所述臂底座，以变更所述支撑部的朝向，其中，在所述驱动部移动所述支撑部的过程中，所述旋转部朝向所述支撑部的蛇行方向的反方向旋转所述臂底座。