[发明专利]光学非破坏检查装置以及光学非破坏检查方法

权利要求书

1.一种光学非破坏检查装置，其特征在于，包括：

聚光准直装置，其从第2侧射出沿着光轴从第1侧入射的平行光，朝向作为焦点位置而设定在测定对象物上的测定点进行聚光，并且将从所述测定点放射以及被反射并从第2侧入射的光变换为沿着光轴的平行光并从第1侧射出；

加热用激光光源，其射出不破坏测定对象物而进行加热的激光；

加热用激光导光装置，其将所述加热用激光向所述聚光准直装置的第1侧引导；

红外线检测器，其能够检测从所述测定点放射的红外线；

放射红外线导光装置，其从由所述测定点放射并从所述聚光准直装置的第1侧射出的平行光中将所规定的红外线波长的红外线向所述红外线检测器引导；

修正用激光光源，其射出与所述加热用激光相比是小的输出且波长不同的修正用激光；

修正用激光导光装置，其将所述修正用激光向所述聚光准直装置的第1侧引导；

修正用激光检测器，其能够检测被所述测定点反射的所述修正用激光；

反射激光导光装置，其将被所述测定点反射并从所述聚光准直装置的第1侧射出的所述修正用激光向所述修正用激光检测器引导；以及

控制装置，

所述控制装置控制所述加热用激光光源和所述修正用激光光源，并且，基于来自所述红外线检测器的检测信号和来自所述修正用激光检测器的检测信号，测定与加热时间对应的所述测定点的温度上升状态亦即温度上升特性，并基于测定出的所述温度上升特性来判定测定对象物的状态。

2.根据权利要求1所述的光学非破坏检查装置，其特征在于，

所述加热用激光导光装置包括：

加热用激光准直装置，其被配置在所述加热用激光光源的附近，将从所述加热用激光光源射出的加热用激光变换为平行光；和

加热激光用选择反射装置，其被配置在所述聚光准直装置的光轴上，使所述加热用激光朝向所述聚光准直装置的第1侧反射，并且，使从所述测定点放射以及被反射并从所述聚光准直装置的第1侧射出的平行光中的、与加热用激光的波长不同的波长的光透过；或

加热激光用选择反射装置，其被配置在所述聚光准直装置的光轴上，使所述加热用激光朝向所述聚光准直装置的第1侧透过，并且，对从所述测定点放射以及被反射并从所述聚光准直装置的第1侧射出的平行光中的、与加热用激光的波长不同的波长的光进行反射。

3.根据权利要求2所述的光学非破坏检查装置，其特征在于，

所述放射红外线导光装置包括：

所述加热激光用选择反射装置；和

规定红外线用选择反射装置，其被配置在从所述聚光准直装置的第1侧射出并透过所述加热激光用选择反射装置或者被所述加热激光用选择反射装置反射的平行光、且与加热用激光的波长不同的波长的平行光的路径上，使该平行光中规定红外线波长的红外线朝向所述红外线检测器透过，并且反射与所述规定红外线波长不同的波长的平行光；或

规定红外线用选择反射装置，其被配置在从所述聚光准直装置的第1侧射出并透过所述加热激光用选择反射装置或者被所述加热激光用选择反射装置反射的平行光、且与加热用激光的波长不同的波长的平行光的路径上，使该平行光中规定红外线波长的红外线朝向所述红外线检测器反射，并且使与所述规定红外线波长不同的波长的平行光透过；和

红外线聚光装置，其被配置在所述红外线检测器的附近，使由所述规定红外线用选择反射装置透过或反射的规定红外线波长的平行光的红外线朝向所述红外线检测器进行聚光。