[发明专利]一种检测机台机械臂出现异常的方法

权利要求书

1.一种检测机台机械臂出现异常的方法，其特征在于，包括下述步骤：

步骤1.采用晶圆边缘检测机台对晶圆控片的边缘进行检测，获取第一图像；

步骤2.通过待检测机台的在机械臂对所述晶圆控片进行重复传送测试，判断所述机械臂是否出现异常，若是，则停止传送测试；若否，则执行步骤3；

步骤3.采用晶圆边缘检测机台对经重复传送测试后的晶圆控片的边缘进行检测，获取第二图像；

步骤4.根据所述第一图像与所述第二图像获取所述机械臂是否出现异常。

2.如权利要求1所述检测机台机械臂出现异常的方法，其特征在于，步骤1中所述晶圆控片外表面生长有一低电阻材质层。

3.如权利要求2所述检测机台机械臂出现异常的方法，其特征在于，所述低电阻材质层的厚度为固定值。

4.如权利要求1所述检测机台机械臂出现异常的方法，其特征在于，步骤2中进行重复传送测试的具体过程为：

将所述晶圆控片放置于待检测机台中在机械臂与晶圆盒之间做重复传送测试。

5.如权利要求1所述检测机台机械臂出现异常的方法，其特征在于，步骤4中获取待检测机台的机械臂是否出现异常的具体过程为：

将所述第一图像与所述第二图像进行叠图，根据叠图判断所述晶圆控片的边缘是否有机械性划伤，若是，则所述机械臂出现异常，需对所述机械臂进行检查；若否，则所述机械臂正常。