[发明专利]物理量检测元件以及物理量检测装置

权利要求书

1.一种物理量检测元件，其特征在于，具有：

厚度为800μm以下的玻璃基板；

具备检测绝对压力的物理量检测部的基板；

通过在上述玻璃基板的一方的面接合上述基板而形成的密封且保持为真空状态的空间；以及

形成于上述玻璃基板的另一方的面，且防止上述玻璃基板的另一方的面与大气中水分的接触的功能膜。

2.一种物理量检测元件，其特征在于，具备：

至少一方具有空腔部的厚度为800μm以下的两个玻璃基板；

具备检测加速度的物理量检测部的基板；

通过在上述基板的两面接合各个上述玻璃基板的一方的面而形成，且配置有上述物理量检测部的被密封的空间；以及

仅形成于各个上述玻璃基板的另一方的面，且防止各个上述玻璃基板的另一方的面与大气中水分的接触的功能膜。

3.根据权利要求1或2所述的物理量检测元件，其特征在于，

上述功能膜具有隔断水分的性质以防止上述玻璃基板中的碱金属离子与水分的接触，并且具有阻碍上述碱金属离子在玻璃基板中的移动的性质。

4.根据权利要求1或2所述的物理量检测元件，其特征在于，

上述功能膜由包含金、钛、氮化硅的任一种的膜构成。

5.根据权利要求1或2所述的物理量检测元件，其特征在于，

上述玻璃基板的厚度为在上述基板的厚度以下。

6.根据权利要求1或2所述的物理量检测元件，其特征在于，

上述基板由硅构成。

7.一种物理量检测装置，其特征在于，

装载有权利要求1～6中任一项所述的物理量检测元件。

8.根据权利要求7所述的物理量检测装置，其特征在于，

上述物理量检测元件的上述功能膜侧利用粘接树脂固定在基板上。