[发明专利]用于浸没式曝光装置的物件表面形貌检测装置有效
| 申请号： | 201410171815.6 | 申请日： | 2014-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN105022233B | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 卢士良;章磊;陶国峰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 液体供给装置 小孔 测量物体表面 曝光物体 浸没式曝光装置 液体压力传感器 形貌检测装置 曝光装置 物件表面 空腔 形貌 液体供给管路 液体供给管 出液小孔 供给液体 压力转换 液体通过 液体压力 一空腔 填充 连通 检测 | ||
1.一种用于浸没式曝光装置的物件表面形貌检测装置，其特征在于，包括：设置在曝光装置和被曝光物体之间的液体供给装置，所述液体供给装置内部为一空腔，所述空腔四周设置有若干与液体供给管路连通的小孔，液体通过所述小孔填充至液体供给装置与被曝光物体之间，所述液体供给管路上安装有液体压力传感器，所述液体供给装置与被曝光物体被固定于一固定架上，且所述液体供给装置与被曝光物体之间的距离固定，所述被曝光物体沿着坐标轴的X方向和Y方向移动，在整个移动过程中，液体供给装置的小孔内不断有液体涌出，每个小孔内的水流压力随着液体供给装置和被曝光物体表面间的距离变化而变化，通过所述液体压力传感器检测每个小孔的液体压力值，判断被曝光物体表面与出液小孔的相对距离，通过该相对距离反映被曝光物体表面的高度，将每个小孔内获得压力转换成高度值，模拟出被曝光物体表面形貌。
2.如权利要求1所述的用于浸没式曝光装置的物件表面形貌检测装置，其特征在于，所述液体供给管路与液体供给箱相连，为所述液体供给装置提供液体。
3.如权利要求1所述的用于浸没式曝光装置的物件表面形貌检测装置，其特征在于，所述液体供给装置的外侧还设置有液体回收环，所述液体回收环与液体回收箱连通，用于液体回收。
4.如权利要求3所述的用于浸没式曝光装置的物件表面形貌检测装置，其特征在于，液体回收环中的液体通过液体回收管流到所述液体回收箱中。
5.如权利要求1所述的用于浸没式曝光装置的物件表面形貌检测装置，其特征在于，每一个或多个小孔对应一路液体供给管路。
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