[发明专利]电容变换器及其制造方法、探测器以及对象信息获取装置

权利要求书

1.一种电容变换器，其特征在于，包括：

包含多个单元的元件，所述多个单元包括多个有源单元和多个伪单元，所述多个有源单元被支撑使得包含其间形成有间隙的一对电极之一的振动膜片能够振动，所述多个有源单元被电连接，所述多个伪单元被支撑使得包含其间形成有间隙的一对电极之一的振动膜片能够振动，所述多个伪单元被布置在所述多个有源单元之间并且不被电连接，

其中，所述一对电极中的一个电极是信号提取电极并且被所述元件的所述多个有源单元共享，

其中，元件端部中的有源单元的单元位置之间的距离大于元件中间部分中的有源单元的单元位置之间的距离，并且元件端部中的所述多个有源单元的密度低于元件中间部分中的所述多个有源单元的密度，

其中，元件端部中的所述多个有源单元的直径等于元件中间部分中的所述多个有源单元的直径，并且

其中，所述多个单元中的相邻单元的单元位置之间的距离相等。

2.根据权利要求1所述的电容变换器，其中，向所述元件中的所述多个有源单元中的每个有源单元施加共同的偏压。

3.根据权利要求1所述的电容变换器，其中，所述多个有源单元具有相同的形状。

4.根据权利要求1所述的电容变换器，其中，所述多个伪单元的形状和所述多个有源单元的形状相同。

5.根据权利要求1所述的电容变换器，

其中，所述电容变换器包括多个元件，并且

其中，向所述多个元件中的每个元件施加共同的偏压。

6.一种探测器，包括根据权利要求1至5中任一项所述的电容变换器。

7.一种对象信息获取装置，其特征在于，包括：

根据权利要求1至5中任一项所述的电容变换器；以及

处理部件，在所述处理部件中，使用由于从对象传播的声波入射于振动膜片上而从电容变换器输出的电信号，来获取与对象内部有关的特性信息。

8.根据权利要求7所述的对象信息获取装置，还包括发送部件，利用所述发送部件，通过向所述一对电极施加电压而使振动膜片振动来导致声波的发送，

其中，声波是发送的声波从对象内部的反射。

9.根据权利要求8所述的对象信息获取装置，还包括光源，

其中，声波是从照射有来自光源的光的对象产生的光声波。

10.一种电容变换器的制造方法，所述电容变换器包括元件，所述元件包括多个有源单元，

所述方法包括以下步骤：

形成多个第一电极；以及

形成能够振动并包含分别与所述多个第一电极成对的多个第二电极的振动膜片，以由此形成多个包含一对的第一电极和第二电极的有源单元，

电连接所述多个有源单元，

在所述多个有源单元之间布置多个伪单元，其中

所述多个伪单元不被电连接，

其中，所述一对电极中的一个电极是信号提取电极并且被所述元件的所述多个有源单元共享，

其中，在形成的步骤中，使得元件端部中的有源单元的单元位置之间的距离大于元件中间部分中的有源单元的单元位置之间的距离，并且元件端部中的所述多个有源单元的密度低于元件中间部分中的所述多个有源单元的密度，

其中，元件端部中的所述多个有源单元的直径等于元件中间部分中的所述多个有源单元的直径，并且

其中，包括所述多个有源单元和所述多个伪单元的多个单元中的相邻单元的单元位置之间的距离相等。