[发明专利]电容变换器及其制造方法、探测器以及对象信息获取装置

说明书

本发明涉及电容变换器及其制造方法、探测器以及对象信息获取装置。电容变换器中的旁瓣被缩减。提供了一种电容变换器，该电容变换器包括：包含多个单元的元件，所述多个单元被支撑，使得包含其间形成有间隙的一对电极之一的振动膜片能够振动，其中，元件端部中的单元之间的距离大于元件中间部分中的单元之间的距离。

技术领域

本发明涉及电容变换器及其制造方法。

背景技术

常规上，已能够以微米的量级来处理通过微加工技术所制造的微机械组件。通过其使用，已实现各种微功能元件。作为用于压电元件的替代，已对利用这种技术的电容变换器进行了研究。通过这种电容变换器，可使用振动膜片(membrane)的振动来发送和接收超声波，并且可容易地获得特别是在液体中的优异宽带特性。

存在包括如下元件的电容变换器：在所述元件中，以正方形形状或矩形形状来布置单元(cell)，并且相邻单元之间的间隙是均匀的(参见日本专利申请公开No.2008-98697)。并且，存在如下电容变换器：在所述电容变换器中，元件端部中的单元的发送效率或接收灵敏度低于元件中间部分中的单元的发送效率或接收灵敏度(参见美国专利No.8456958)。

专利文献1：日本专利申请公开No.2008-98697

专利文献2：美国专利No.8456958

发明内容

在用包含以正方形形状或矩形形状来布置单元且相邻单元之间的间隙均匀的元件的电容变换器发送超声波的情况下，辐射(radiated)的声压在元件的端部和中间部分中是均匀的。因此，容易出现超声束的旁瓣(side lobe)。使用超声束的超声图像的质量可由于旁瓣而劣化。在接收的情况下，图像质量也可以以类似的方式劣化。

在元件端部中的单元的发送效率或接收灵敏度比中间部分低的电容变换器中，结构使得元件端部中的单元的形状和元件中间部分中的单元的形状不同。通过该配置，通过其缩减旁瓣的切趾(apodization)是可能的。因此，可在发送或接收超声波时发送或接收不必要的频带中的超声波，以使SN比劣化。

本发明是基于对这种任务的认识而作出的。本发明的目的是缩减电容变换器中的旁瓣。

本发明提供一种电容变换器，该电容变换器包括：

包含多个单元的元件，所述多个单元被支撑，使得包含其间形成有间隙的一对电极之一的振动膜片能够振动，

其中，元件端部中的单元之间的距离大于元件中间部分中的单元之间的距离。

本发明还提供一种电容变换器的制造方法，所述电容变换器包括元件，所述元件包括多个单元，

所述方法包括以下步骤：

形成多个第一电极；以及

形成能够振动并包含分别与所述多个第一电极成对的多个第二电极的振动膜片，以由此形成多个包含一对的第一电极和第二电极的单元，

其中，在形成的步骤中，使得元件端部中的单元之间的距离大于元件中间部分中的单元之间的距离。

通过本发明，可以缩减电容变换器中的旁瓣。

从参照附图对示例性实施例的以下描述，本发明的进一步的特征将变得明显。

附图说明

图1A是例子1中的电容变换器的顶视图；

图1B是例子1中的电容变换器的沿线A-B的截面图；

图2A是例子2中的电容变换器的顶视图；

图2B是例子2中的电容变换器的沿线A-B的截面图；