[发明专利]液体喷头制造方法、液体喷头和打印装置

权利要求书

1.一种液体喷头制造方法，其特征在于，包括：

在第一基底上形成多个间隔设置的压力发生部件；

在第一基底的第一表面上形成与多个所述压力发生部件对应的压力腔室以及与多个所述压力腔室连通的公共腔室；

通过键合工艺在所述压力腔室上成形过渡层，并在所述过渡层上形成喷孔板；

通过光刻工艺在所述喷孔板和过渡层上形成有与所述压力腔室连通的喷孔。

2.根据权利要求1的液体喷头制造方法，其特征在于，所述在第一基底的第一表面上形成与多个所述压力发生部件对应的压力腔室以及与多个所述压力腔室连通的公共腔室，包括：

在第一基底第一表面上设置腔室层并曝光，限定压力腔室和公共腔室的形状和位置；

显影形成压力腔室和公共腔室。

3.根据权利要求2所述的液体喷头制造方法，其特征在于，所述通过键合工艺在所述压力腔室上成形过渡层，并在所述过渡层上形成喷孔板，包括：

在第二基底上悬涂过渡层；

通过键合工艺将所述腔室层的腔室壁与所述过渡层粘接在一起；

剥离所述第二基底；

在所述过渡层上悬涂喷孔板。

4.根据权利要求3所述的液体喷头制造方法，其特征在于，所述过渡层和腔室层的材料为具有良好机械加工性能的负性光敏胶SU8或者聚酰亚胺。

5.根据权利要求1所述的液体喷头制造方法，其特征在于，所述在第一基底上形成多个间隔设置的压力发生部件，包括：

刻蚀第一基底的第一表面形成凹槽；

在所述凹槽内形成压电元件，该压电元件的上表面与所述第一基底的第一表面平齐；

在第一基底的第一表面上形成振动板，所述振动板盖设在所述压电元件的外部。

6.根据权利要求5所述的液体喷头制造方法，其特征在于，所述在所述凹槽内形成压电元件，包括：

通过溅射法在所述凹槽内依次形成下电极层、压电体层和上电极层；其中，所述下电极层为钛层、铂金层或多个钛层叠加层；所述压电体层为锆钛酸铅层；所述上电极层为铂金层或黄金层。

7.根据权利要求5或6所述的液体喷头制造方法，其特征在于，所述通过光刻工艺在所述喷孔板和过渡层上形成有与所述压力腔室连通的喷孔之后，还包括：

蚀刻第一基底的第二表面形成与公共腔室连通的供墨孔以及与压力发生部件相通的空腔；

在第一基底的第二表面设置盖板，该盖板盖设所述空腔上并保持所述供墨孔畅通。

8.根据权利要求7所述的液体喷头制造方法，其特征在于，所述蚀刻第一基底的第二表面形成与公共腔室连通的供墨孔以及与压力发生部件相通的空腔之后，还包括：

在所述压电元件的两侧与所述第一基底之间形成缝隙。

9.根据权利要求1所述的液体喷头制造方法，其特征在于，所述在第一基底上形成多个间隔设置的压力发生部件，包括：

在第一基底的第一表面上形成振动板；

在所述振动板上形成压电元件。

10.根据权利要求5或6或9所述的液体喷头制造方法，其特征在于：

所述在第一基底的第一表面形成振动板包括：通过低压化学气相沉积法或等离子体增强化学气相沉积法形成振动板；其中，所述振动板为SiO₂或Si₃N₄。

11.根据权利要求9所述的液体喷头制造方法，其特征在于，所述通过光刻工艺在所述喷孔板和过渡层上形成有与所述压力腔室连通的喷孔之后，还包括：

在第一基底第二表面蚀刻形成与公共腔室连通的供墨孔以及与压力发生部件相通的空腔；

在第一基底第二表面设置盖板，该盖板盖设所述空腔上并保持所述供墨孔畅通。

12.根据权利要求1所述的液体喷头制造方法，其特征在于，所述在第一基底上形成多个间隔设置的压力发生部件，包括：

在第一基底的第一表面沉积薄膜电阻层，该薄膜电阻层的材料为钽铝合金或镍铬合金或钨硅氮化物或氮化钛。

13.根据权利要求12所述的液体喷头制造方法，其特征在于，所述通过光刻工艺在所述喷孔板和过渡层上形成有与所述压力腔室连通的喷孔之后，还包括：

蚀刻第一基底的第二表面形成与公共腔室连通的供墨孔。